Surface-Theta系列

分類： 旋轉平台 > 機械直驅旋轉平台

產品特點

．高精密360度連續旋轉直驅轉台
．結構緊湊，低橫向高度
．重負載高精度轉台 (可水平或橫向安裝使用)
．可選數位量或類比量高精度圓光柵位置回饋
．無刷無齒槽伺服線性馬達直驅，轉速超過400rpm
．0.05弧秒最小步進（實驗室環境，配置線性放大器），±1·弧秒重複性
．豐富的配置選項，可選氣管旋轉單元

產品咨詢

Surface-Theta系列是高精度的360度連續轉台，採用旋轉線性馬達直驅控制，具備非常優秀的動態性能和定位精度。Surface-Theta系列轉台採用傑出的工業化設計，外觀精緻佈局合理，具有橫向高度低的優點，適用於空間緊湊型應用。選用高精度圓光柵位置回饋，定位精度±2弧秒，重複性小於±1弧秒，最大水平負載可達30kg，最大橫向安裝負載可達10kg，機械性能非常突出。

Surface-Theta系列採用大直徑圓形軸承設計，系統剛性強，重複性好，重負載使用條件小也不會損失性能。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，Surface-Theta系列轉台的定位穩定性和最小步進量小於0.05弧秒。

Surface-Theta系列轉台具備靈活的配置選項，客戶可以選擇類比量回饋或者數位量回饋，針對半導體客戶的應用要求，Surface-Theta系列為客戶提供了旋轉單元和氣管接頭選項，有效地解決了360°連續旋轉纏線問題。由於Surface-Theta系列轉台具備橫向高度低、定位精度和重複性好、帶負載能力強的特點，它被廣泛使用在半導體檢測和封裝等場合。

Surface-Theta 轉台定位穩定性和最小步進測試：

定位穩定性測試優於±0.000014°（±0.05弧秒）（實驗室環境，線性放大器）

0.0000135°（0.05弧秒）最小步進測試（實驗室環境，配置線性放大器）

0.000027°（0.1弧秒）最小步進測試（實驗室環境，配置線性放大器）

平台型號\Model		Surface-Theta
轉台行程 \Travel Range		360°
載物台直徑 \Tabletop Diameter		100mm
轉角精度 \Accuracy1		±2 arc sec
最小步進 \Minimal Incremental Step1		0.5 arc sec
重複性 \Repeatability1		±1 arc sec
擺角 \Tilt Error		20 arc sec
軸跳 \Axial Error Motion		5 μm
端跳 \Radial Error Motion		5 μm
平台重量\Stage Mass		4kg
最大負載\Max Load	軸向 \Axial	30 kg
	徑向 \Radial	10 kg
最高空載速度 \ Maximum Speed2		400rpm (2400°/s)
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours