CUBE-4系列
分類： 標準運動系統 > 基因測序儀運動平台
產品特點
．XY雙軸四線性馬達驅動，驅動性能出色
．交叉滾柱導軌，薄型結構，阿貝誤差小
．XY軸200mm*200mm和Z軸5mm行程，Theta運動範圍可選
．解析度1nm，重複定位精度±150nm，定位精度±300nm，
．定位穩定性5nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
．Theta軸採用下沉隱藏式設計，整體高度低
．動態性能優越，XY等速段位置誤差每0.5mm 動態跟隨誤差STD標準差小於50nm，Z軸具備快速聚焦性能
CUBE-4是XYZT 4軸一體式精密定位平台，XYZ採用直線線性馬達驅動，選用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的性能和定位精度，XY軸空載截止頻率最大可達120Hz以上，具備很好的速度穩定性，在4軸疊加的檯面上方利用干涉儀5K的採樣頻率測試CUBE-4 等速段位置誤差，每0.5mm 位置動態跟隨誤差STD標準差小於50nm。Z軸空載截止頻率可達200Hz以上。Theta軸採用旋轉直驅線性馬達，配備圓形導軌和光柵，兼具高轉速和高精度。此外，Theta軸採用下沉隱藏式設計，使得CUBE-4整體高度較低，工作點下降有利於實際應用中提高絕對定位精度。
此外，Z軸可在30ms內步進100μm，穩定到±50nm。CUBE-4是一款兼具點到點的靜態精度，同時具備非常突出的動態精度，可以適應對動態誤差要求嚴格的生物或者晶圓檢測掃描應用，Z軸可以根據感測器工作距高度即時高速調整，全方位解決客戶的運動控制難題。
CUBE-4系列四軸平台動態性能測試
干涉儀5k採樣頻率動態測試：XY等速段位置跟隨誤差，每0.5mm STD標準差小與50nm
CUBE-4系列四軸平台最小步進測試
Z軸步進100μm ，30ms內穩定到±50nm
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軸號 |
XY |
Z |
T |
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有效行程\Travel |
200mm*200mm |
5mm |
≤360°（可客製） |
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定位精度\Accuracy |
±0.3 μm |
±0.2 μm |
±2 arcsec |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.15 μm |
±0.1 μm |
±1 arcsec |
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俯仰\Pitch |
15 arc sec |
20 arc sec |
NA |
|
偏擺\Yaw |
8 arc sec |
10 arc sec |
NA |
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直線度\Straightness |
±1.5 μm |
±1.0 μm1 |
NA |
|
平面度\Flatness |
±1.5 μm |
±1.0 μm1 |
NA |
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正交性\Orthogonality |
15 arc sec |
NA |
NA |
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最大速度\Maximum Speed2 |
800 mm/s |
75 mm/s |
400rpm（2400°/s） |
|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1.0 g |
0.7 g |
2400°/s/s |
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持續推力\Continuous Force |
48.8 N |
24.4 N |
3 NM |
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峰值推力\Continuous Force |
340 N |
170 N |
10 NM |
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最大負載\Load Capacity3 |
5 kg |
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平台重量\Stage Mass(No Motor) |
35 kg |
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解析度\Resolution4 |
1 nm |
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|
定位穩定性\In Position Stability4 |
5nm |
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|
最小步進量\Minimum Incremental step4 |
10 nm |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 平行或垂直於楔形塊方向測量；
- 空載測試；
- 沿軸線方向受力；
- 適配-AS回饋，配置線性放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
軸數 |
回饋 |
|
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CUBE |
-4 |
-AS |
|
回饋選項
|
-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
|
-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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