SMH190LM系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
．高性能低成本解決方案
．堅固的機械結構
．靈活的配置選項（不同行程、檯面和回饋）
．行程範圍100mm到800mm
．最大速度可達2000mm/s，最大加速度可達2g
．可選單側或雙側電纜管理
SMH190LM系列運動平台採用直線線性馬達驅動，直驅線性馬達特點主要有速度快、動態性能好、摩擦力小，易於實現精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應用。
SMH190LM系列運動平台使用高解析度光柵，電子解析度可達1nm，通過校準可使平台達到亞微米級重複性和定位精度。而低摩擦側密封保護其免受灰塵或顆粒污染，保證其長時間正常運行，延長維護週期。 SMH190LM系列為客戶提供電纜管理選項，低摩擦側封使日常維護更簡易。
SMH190LM系列直線運動平台是精密機械中的關鍵部件之一，它主要應用於OLED切割、PCB鑽孔，數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個兼具精密定位、高速度和大負載的精密運動平台。
SMH90LM系列平台最小步進和動態性能測試
20nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器測試）
半徑5mm圓，加工速度70mm/s， 動態跟隨誤差10μm（下軸SMH225LM,上軸SMH190LM）
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平台型號\Model |
SMH190LM-100 |
SMH190LM-200 |
SMH190LM-300 |
SMH190LM-400 |
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有效行程\Travel |
100mm |
200mm |
300mm |
400mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±1 μm |
±1 μm |
±1 μm |
±1 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.3 μm |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
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俯仰\Pitch |
6 arc sec |
8 arc sec |
10 arc sec |
12 arc sec |
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偏擺\Yaw |
6 arc sec |
8 arc sec |
10 arc sec |
12 arc sec |
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直線度\Straightness |
±1.5 μm |
±2.5 μm |
±3.5 μm |
±4.5 μm |
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平面度\Flatness |
±1.5 μm |
±2.5 μm |
±3.5 μm |
±4.5 μm |
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平台重量\Stage Mass |
14.4 kg |
16.8 kg |
19.3 kg |
21.7 kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平安裝 |
60kg |
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橫向安裝 |
60kg |
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解析度\Resolution1 |
1nm |
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最小步進\Minimal Incremental Step1 |
20nm |
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定位穩定性 \In Position Stability 1 |
±10nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
2m/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2g |
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持續推力\Continuous Force |
112.1N |
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峰值推力\Peak Force |
651.5N |
|
平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
SMH190LM-500 |
SMH190LM-600 |
SMH190LM-700 |
SMH190LM-800 |
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有效行程\Travel |
500mm |
600mm |
700mm |
800mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±1 μm |
±1 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
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俯仰\Pitch |
14 arc sec |
16 arc sec |
18 arc sec |
20 arc sec |
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偏擺\Yaw |
14 arc sec |
16 arc sec |
18 arc sec |
20 arc sec |
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直線度\Straightness |
±5.5 μm |
±6.5 μm |
±7.3 μm |
±8.0 μm |
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平面度\Flatness |
±5.5 μm |
±6.5 μm |
±7.3 μm |
±8.0 μm |
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平台重量\Stage Mass |
24.2 kg |
26.6 kg |
29.4 kg |
32.0 kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平安裝 |
60kg |
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|
橫向安裝 |
60kg |
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解析度\Resolution1 |
1nm |
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最小步進\Minimal Incremental Step1 |
20 nm |
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|
定位穩定性 \In Position Stability 1 |
±10nm |
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|
最大速度\Maximum Speed2 |
2m/s |
||||
|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2g |
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|
持續推力\Continuous Force |
112.1N |
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|
峰值推力\Peak Force |
651.5N |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
||||
備註：
- 適配-AS回饋，以及線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
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型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
電子限位元行程 ELEC LIMIT TRAVEL |
機械限位行程 MECH LIMIT TRAVEL |
A |
B |
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SMH190LM-100 |
100 |
105 |
125 |
390 |
175,250 |
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SMH190LM-200 |
200 |
205 |
225 |
490 |
175,275 |
|
SMH190LM-300 |
300 |
305 |
325 |
590 |
175,375 |
|
SMH190LM-400 |
400 |
405 |
425 |
690 |
175,450 |
|
SMH190LM-500 |
500 |
505 |
525 |
790 |
175,450 |
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SMH190LM-600 |
600 |
605 |
625 |
890 |
175,575 |
|
SMH190LM-700 |
700 |
705 |
725 |
990 |
175,575 |
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SMH190LM-800 |
800 |
805 |
825 |
1090 |
175,575,775 |
備註：
- 單位：mm；
- 雙側拖鏈配置未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
載物台 |
回饋 |
電纜管理 |
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SMH190LM |
-100 |
-TTM |
-AS -TTL100 |
-CMS0 |
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-200 |
||||
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-300 |
||||
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-400 |
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-500 |
||||
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-600 |
||||
|
-700 |
||||
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-800 |
行程選項
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-100 |
100mm行程 |
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-200 |
200mm行程 |
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-300 |
300mm行程 |
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-400 |
400mm行程 |
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-500 |
500mm行程 |
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-600 |
600mm行程 |
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-700 |
700mm行程 |
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-800 |
800mm行程 |
載物台選項
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-TTM |
載物台公制安裝孔 |
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-TTR |
載物台安裝孔位，為指定轉台設計 |
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-TTKxx |
為客戶客製載物台 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
電纜管理選項
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-CMS0 |
無電纜管理，僅留出線性馬達回饋接頭 |
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-CMS1 |
單側托線板、單拖鏈 |
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-CMS2 |
雙側托線板、雙拖鏈 |
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