SMH115LM系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
．高性能低成本解決方案
．堅固的機械結構
．靈活的配置選項（不同行程、檯面和回饋）
．行程範圍50mm到600mm
．最大速度可達1000mm/s，最大加速度可達1g
．可選單側或雙側電纜管理
SMH115LM系列運動平台採用直線線性馬達驅動，直驅線性馬達速度快、動態性能好、摩擦力小，易於實現精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應用。
SMH115LM系列運動平台使用高解析度光柵，電子解析度可達1nm，通過校準可使平台達到亞微米級重複性和定位精度。而低摩擦側密封保護其免受灰塵或顆粒污染，保證其長時間正常運行，延長維護週期。 SMH115LM系列為客戶提供電纜管理選項，低摩擦側封使日常維護更簡易。
SMH115LM系列直線運動平台是精密機械中的關鍵部件之一，它主要應用於OLED切割、PCB鑽孔、數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個兼具精密定位，高速度和大負載的精密運動平台。
SMH115LM系列平台最小步進和動態性能測試
20nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器測試）
±10nm定位穩定性（實驗室環境，配置線性放大器測試）
|
平台型號\Model |
SMH115LM-050 |
SMH115LM-100 |
SMH115LM-150 |
SMH115LM-200 |
|
|
有效行程\Travel |
50mm |
100mm |
150mm |
200mm |
|
|
絕對定位精度\Accuracy |
±0.75 μm |
±1 μm |
±1 μm |
±1.5 μm |
|
|
雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.5 μm |
|
|
俯仰\Pitch |
5 arc sec |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
|
|
橫滾\Roll |
5 arc sec |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
|
|
偏擺\Yaw |
5 arc sec |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
|
|
直線度\Straightness |
±1.5 µm |
±2.5 µm |
±3 μm |
±4 μm |
|
|
平面度\Flatness |
±1.5 µm |
±2.5 µm |
±3 μm |
±4 μm |
|
|
平台重量\Stage Mass |
5.2 kg |
5.7 kg |
6.3 kg |
6.8 kg |
|
|
最大負載\Load Capacity |
水平安裝 |
40kg |
|||
|
橫向安裝 |
40kg |
||||
|
解析度\Resolution1 |
1nm |
||||
|
最小步進 \Minimal Incremental Step1 |
20nm |
||||
|
定位穩定性 \In Position Stability 1 |
±10nm |
||||
|
最大速度\Maximum Speed2 |
1m/s |
||||
|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1g |
||||
|
持續推力\Continuous Force |
31N |
||||
|
峰值推力\Peak Force |
217N |
||||
|
平台材質\Material |
鋁 |
||||
|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
||||
|
平台型號\Model |
SMH115LM-300 |
SMH115LM-400 |
SMH115LM-500 |
SMH115LM-600 |
|
|
有效行程\Travel |
300mm |
400mm |
500mm |
600mm |
|
|
絕對定位精度\Accuracy |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±2 μm |
±2 μm |
|
|
雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
|
|
俯仰\Pitch |
12 arc sec |
16 arc sec |
20 arc sec |
24 arc sec |
|
|
橫滾\Roll |
12 arc sec |
16 arc sec |
20 arc sec |
24 arc sec |
|
|
偏擺\Yaw |
12 arc sec |
16 arc sec |
20 arc sec |
24 arc sec |
|
|
直線度\Straightness |
±6 μm |
±8 μm |
±9 μm |
±10 μm |
|
|
平面度\Flatness |
±6 μm |
±8 μm |
±9 μm |
±10 μm |
|
|
平台重量\Stage Mass |
8 kg |
9 kg |
10.4 kg |
11.5 kg |
|
|
最大負載\Load Capacity |
水平安裝 |
40kg |
|||
|
垂直安裝 |
40kg |
||||
|
解析度\Resolution1 |
1nm |
||||
|
最小步進 \Minimal Incremental Step1 |
20nm |
||||
|
定位穩定性 \In Position Stability 1 |
±10nm |
||||
|
最大速度\Maximum Speed2 |
2m/s |
||||
|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2g |
||||
|
最大推力\Maximum Force |
31N |
||||
|
持續推力\Continuous Force |
217N |
||||
|
峰值推力\Peak Force |
鋁 |
||||
|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
||||
備註：
- 適配-AS回饋，以線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
|
型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
電子限位元行程 ELEC LIMIT TRAVEL |
機械限位行程 MECH LIMIT TRAVEL |
A |
B |
|
SMH115LM-050 |
50 |
57-63 |
75 |
280 |
150 |
|
SMH115LM-100 |
100 |
107-113 |
125 |
330 |
100,250 |
|
SMH115LM-150 |
150 |
157-163 |
175 |
380 |
100,300 |
|
SMH115LM-200 |
200 |
207-213 |
225 |
430 |
100,350 |
|
SMH115LM-300 |
300 |
307-313 |
325 |
530 |
100,250,450 |
|
SMH115LM-400 |
400 |
407-413 |
425 |
630 |
100,300,500 |
|
SMH115LM-500 |
500 |
507-513 |
525 |
730 |
100,350,600 |
|
SMH115LM-600 |
600 |
607-613 |
625 |
830 |
100,400,700 |
備註：
- 單位：mm；
- 雙側拖鏈配置未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
|
產品系列 |
行程（mm） |
載物台 |
回饋 |
電纜管理 |
|
SMH115LM |
-050 |
-TTM |
-AS -TTL100 |
-CMS0 |
|
-100 |
||||
|
-150 |
||||
|
-200 |
||||
|
-300 |
||||
|
-400 |
||||
|
-500 |
||||
|
-600 |
行程選項
|
-050 |
50mm行程 |
|
-100 |
100mm行程 |
|
-150 |
150mm行程 |
|
-200 |
200mm行程 |
|
-300 |
300mm行程 |
|
-400 |
400mm行程 |
|
-500 |
500mm行程 |
|
-600 |
600mm行程 |
載物台選項
|
-TTM |
載物台公制安裝孔 |
|
-TTR |
載物台安裝孔位，為指定轉台設計 |
|
-TTKxx |
為客戶客製載物台 |
回饋選項
|
-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
|
-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
|
-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
電纜管理選項
|
-CMS0 |
無電纜管理，僅留出線性馬達回饋接頭 |
|
-CMS1 |
單側托線板、單拖鏈 |
|
-CMS2 |
雙側托線板、雙拖鏈 |
相關產品
相關產品 (4)
