SMH165LM系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
．高性能低成本解決方案
．堅固的機械結構
．靈活的配置選項（不同行程、檯面和回饋）
．行程範圍100mm到800mm
．最大速度可達2000mm/s，最大加速度可達2g
．可選單側或雙側電纜管理
SMH165LM系列運動平台採用直線線性馬達驅動，直驅線性馬達速度快、動態性能好、摩擦力小，易於實現精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應用。
SMH165LM系列運動平台使用高解析度光柵，電子解析度可達1nm，通過校準可使平台達到亞微米級重複性和定位精度。而低摩擦側密封保護其免受灰塵或顆粒污染，保證其長時間正常運行，延長維護週期。 SMH165LM系列為客戶提供電纜管理選項，低摩擦側封使日常維護更簡易。
SMH165LM系列直線運動平台是精密機械中的關鍵部件之一，它主要應用於OLED切割、PCB鑽孔、數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個兼具精密定位，高速度和大負載的精密運動平台。
SMH165LM系列平台最小步進和動態性能測試
20nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器測試）
±10nm定位穩定性（實驗室環境，配置線性放大器測試）
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平台型號\Model |
SMH165LM-100 |
SMH165LM-200 |
SMH165LM-300 |
SMH165LM-400 |
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有效行程\Travel |
100mm |
200mm |
300mm |
400mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±1 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.4 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
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俯仰\Pitch |
6 arc sec |
8 arc sec |
12 arc sec |
14.5 arc sec |
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偏擺\Yaw |
6 arc sec |
8 arc sec |
12 arc sec |
14.5 arc sec |
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|
直線度\Straightness |
±2.5 µm |
±4 µm |
±6 μm |
±8 μm |
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平面度\Flatness |
±2.5 µm |
±4 µm |
±6 μm |
±8 μm |
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平台重量\Stage Mass |
8.2 kg |
9.9 kg |
11.6 kg |
13.3 kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平安裝 |
45kg |
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橫向安裝 |
45kg |
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解析度\Resolution1 |
1nm |
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最小步進 \Minimal Incremental Step1 |
20 nm |
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定位穩定性 \In Position Stability 1 |
±10nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
2m/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2g |
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持續推力\Continuous Force |
81.8N |
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|
峰值推力\Peak Force |
506.6N |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
SMH165LM-500 |
SMH165LM-600 |
SMH165LM-700 |
SMH165LM-800 |
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有效行程\Travel |
500mm |
600mm |
700mm |
800mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±2 μm |
±2 μm |
±2 μm |
±2 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
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俯仰\Pitch |
16.5 arc sec |
18.5 arc sec |
19.5 arc sec |
20.5 arc sec |
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橫滾\Roll |
16.5 arc sec |
18.5 arc sec |
19.5 arc sec |
20.5 arc sec |
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偏擺\Yaw |
16.5 arc sec |
18.5 arc sec |
19.5 arc sec |
20.5 arc sec |
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直線度\Straightness |
±9 μm |
±10 μm |
±11 μm |
±12 μm |
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平面度\Flatness |
±9 μm |
±10 μm |
±11 μm |
±12 μm |
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平台重量\Stage Mass |
14.9 kg |
16.6 kg |
18.4 kg |
20.5 kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平安裝 |
45kg |
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垂直安裝 |
45kg |
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|
解析度\Resolution1 |
1nm |
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|
最小步進 \Minimal Incremental Step1 |
20 nm |
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|
定位穩定性 \In Position Stability 1 |
±10nm |
||||
|
最大速度\Maximum Speed2 |
2m/s |
||||
|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2g |
||||
|
最大推力\Maximum Force |
81.8N |
||||
|
持續推力\Continuous Force |
506.6N |
||||
|
峰值推力\Peak Force |
鋁 |
||||
|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-AS回饋，以及線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
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型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
電子限位元行程 ELEC LIMIT TRAVEL |
機械限位行程 MECH LIMIT TRAVEL |
A |
B |
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SMH165LM-100 |
100 |
102-108 |
116 |
330 |
150,250 |
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SMH165LM-200 |
200 |
202-208 |
216 |
430 |
150,350 |
|
SMH165LM-300 |
300 |
302-308 |
316 |
530 |
150,350 |
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SMH165LM-400 |
400 |
402-408 |
416 |
630 |
150,350,550 |
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SMH165LM-500 |
500 |
502-508 |
516 |
730 |
150,350,550 |
|
SMH165LM-600 |
600 |
602-608 |
616 |
830 |
150,350,550,750 |
|
SMH165LM-700 |
700 |
702-708 |
716 |
930 |
150,350,550,750 |
|
SMH165LM-800 |
800 |
802-808 |
816 |
1030 |
150,350,550,750,950 |
备注：
- 單位：mm；
- 雙側拖鏈配置未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
載物台 |
回饋 |
電纜管理 |
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SMH165LM |
-0100 |
-TTM |
-AS -TTL100 |
-CMS0 |
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-0200 |
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-0300 |
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-0400 |
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-0500 |
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-0600 |
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-0700 |
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-0800 |
行程選項
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-100 |
100mm行程 |
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-200 |
200mm行程 |
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-300 |
300mm行程 |
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-400 |
400mm行程 |
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-500 |
500mm行程 |
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-600 |
600mm行程 |
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-700 |
700mm行程 |
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-800 |
800mm行程 |
載物台選項
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-TTM |
載物台公制安裝孔 |
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-TTR |
載物台安裝孔位，為指定轉台設計 |
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-TTKxx |
為客戶客製載物台 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
電纜管理選項
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-CMS0 |
無電纜管理，僅留出線性馬達回饋接頭 |
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-CMS1 |
單側托線板、單拖鏈 |
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-CMS2 |
雙側托線板、雙拖鏈 |
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