ART95LZ系列
分類： 線性位移平台 > Z軸線性位移平台
產品特點
．結構緊湊，適合對空間尺寸有著較高要求的應用
．交叉滾柱導軌
．靈活的配置選項（不同行程和回饋）
．解析度1nm，重複定位精度±100nm，絕對定位精度±150nm
．定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
ART95LZ系列是奈米級定位精度的垂直運動平台，無齒槽直線線性馬達驅動，採用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。是ART95系列水平運動平台的有效補充，可以與ART95或者ART95XY系列組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。
ART95LZ系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大速度可達200mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART95LZ系列平台的定位穩定性3nm和最小步進量可以小於5nm，平面度/直線度可達±2μm，主要應用於通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因定序以及光學領域光路對準等，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
ART95LZ系列平台最小步進和定位穩定性測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器）
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平台型號\Model |
ART95LZ-025 |
ART95LZ-050 |
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有效行程\Travel |
25mm |
50mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±150nm |
±150nm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100nm |
±100nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45 nm |
±45 nm |
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俯仰\Pitch |
10arc sec |
10arc sec |
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偏擺\Yaw |
5arc sec |
5arc sec |
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直線度\Straightness |
±1.5 µm |
±2µm |
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平面度\Flatness |
±2.5 µm |
±3.0µm |
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移動部分重量\Moving Mass |
0.5kg |
0.6kg |
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平台重量\Stage Mass |
2.0kg |
2.5kg |
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最大負載\Load Capacity |
5kg |
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解析度\Resolution1 |
1nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
5nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
3nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
250mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1g |
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最大持續推力\Maximum Continuous Force |
21N |
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最大峰值推力\Maximum Peak Force |
147N |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-ASH回饋，線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 其他行程可客製。
ART95LZ-025
ART95LZ-050
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
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ART95LZ |
-025 |
-AS -ASH -TTL005 -TTL020 |
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-50 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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