LAB165S系列
分類： 線性位移平台 > 氣浮直驅線性位移平台
產品特點
．高動態性能（截止頻率大於120Hz）
．磁預載空氣軸承，零摩擦氣浮平台
．為高性能掃描和檢測應用量身設計
．解析度1 nm，重複定位精度±0.1 μm，定位精度±0.2 μm
．氣隙平均效應，直線度平面度可達±25μm/100mm
．行程最可達500 mm，帶電纜管理選項
．高精密零膨脹光柵回饋可選
LAB165S是奈米級定位精度的氣浮平台，採用直線線性馬達驅動，利用空氣彈性勢能作為支撐導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率最大可達120Hz以上。LAB165S平台採用磁預載技術，利用空氣導軌支撐滑塊運動，同時利用磁場產生反向壓力保證空氣導軌的正常氣隙。專業的設計鑄就了LAB165S平台傑出的幾何性能，在200mm行程內，其平面度和直線度小於±0.6μm，Pitch/Yaw/Roll擺角指標小於±2.5 arc sec，適用於半導體等對潔淨程度要求較高或者對直線度和平面度要求比較高的應用。
LAB165S有較強的驅動能力，最大空載速度1000mm/s，空載加速度可達0.5g，主要應用於光學透鏡檢測，半導體領域的晶圓缺陷檢測，精密製造和封裝，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
LAB165S系列平台最小步進測試
10nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器）
20nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器）
LAB165S系列平台動態性能測試
2.2mm@40ms@±350nm（實驗室環境，配置線性放大器）
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平台型號\Model |
LAB165S-025 |
LAB165S-050 |
LAB165S-100 |
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有效行程\Travel |
25 mm |
50 mm |
100 mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±0.15 μm |
±0.2 μm |
±0.2 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.075 μm |
±0.1 μm |
±0.1 μm |
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俯仰\Pitch |
±0.75 arc sec |
±1 arc sec |
±1.5 arc sec |
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偏擺\Yaw |
±0.75 arc sec |
±1 arc sec |
±1.5 arc sec |
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直線度\Straightness |
±0.3 µm |
±0.3 µm |
±0.5 µm |
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平面度\Flatness |
±0.3 µm |
±0.3 µm |
±0.5 µm |
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平台重量\Stage Mass |
5.9 kg |
6.3 kg |
7 kg |
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最大水平負載\Load Horizontal Capacity |
10 kg |
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解析度\Resolution （1） |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step （1） |
10 nm |
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定位穩定性\In Position Stability （1） |
±10 nm |
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最大速度\Maximum Speed （2） |
1000 mm/s |
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|
最大加速度\Maximum Acceleration（2） |
0.5 g |
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|
持續推力\Continuous Force |
12 N |
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峰值推力\Peak Force |
85 N |
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工作氣壓\Operating Pressure （5） |
5.5 bar (建議乾燥空氣，濾水濾油，粉塵過濾到0.5μm以下) |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
LAB165S-150 |
LAB165S-200 |
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有效行程\Travel |
150 mm |
200 mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±0.2 μm |
±0.3 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.1 μm |
±0. 1 μm |
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俯仰\Pitch |
±2 arc sec |
±2.5 arc sec |
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偏擺\Yaw |
±2 arc sec |
±2.5 arc sec |
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直線度\Straightness |
±0.5 µm |
±0.6 µm |
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平面度\Flatness |
±0.5 µm |
±0.6 µm |
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平台重量\Stage Mass |
7.7 kg |
10.5 kg |
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最大水平負載\Load Horizontal Capacity |
10 kg |
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解析度\Resolution （1） |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step （1） |
10 nm |
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|
定位穩定性\In Position Stability （1） |
±10 nm |
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|
最大速度\Maximum Speed （2） |
1000 mm/s |
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|
最大加速度\Maximum Acceleration（2） |
0.5 g |
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|
持續推力\Continuous Force |
12 N |
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|
峰值推力\Peak Force |
85 N |
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工作氣壓\Operating Pressure （5） |
5.5 bar (建議乾燥空氣，濾水濾油，粉塵過濾到0.5μm以下) |
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平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-ASH回饋，配置線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）埠。
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STAGE MODEL |
NORMAL TRAVEL |
A |
STAGE MASS(KG) |
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LAB165S-025 |
25 |
270 |
5.9 |
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LAB165S-050 |
50 |
295 |
6.3 |
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LAB165S-100 |
100 |
345 |
7 |
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LAB165S-150 |
150 |
395 |
7.7 |
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LAB165S-200 |
200 |
525 |
10.5 |
備註：
- 單位：mm；
- 拖鏈未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
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產品配置選項 |
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
電纜管理 |
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LAB165S |
-25 |
-AS |
-CMS1 |
|
-50 |
-TTL100 |
-CMS2 |
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|
-100 |
-TTL010 |
|
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|
-150 |
-TTL005 |
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|
|
-200 |
-ASH |
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行程選項 |
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-25 |
25 mm 行程 |
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-50 |
50 mm 行程 |
|
-100 |
100 mm 行程 |
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-150 |
150 mm 行程 |
|
-200 |
200 mm 行程 |
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回饋選項 |
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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電纜管理選項 |
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-CMS1 |
單側托線板、單拖鏈 |
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-CMS2 |
雙側托線板、雙拖鏈 |
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