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SMH560LM系列

分類: 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台

產品特點

.直驅線性馬達高精度定位平台
.雙線性馬達驅動,持續推力664N,峰值推力4480N
.靈活的配置選項(不同行程、檯面和回饋)
.行程範圍300mm到800mm
.最大速度可達2000mm/s,最大加速度可達3g
.可選單側或雙側電纜管理
產品咨詢

SMH560LM系列運動平台採用直線線性馬達驅動,直驅線性馬達特點主要有速度快、動態性能好、摩擦力小,易於實現精密位置控制,非常適合大行程,高速度和高精度應用。

SMH560LM系列運動平台使用高解析度光柵,電子解析度可達1nm,通過校準可使平台達到亞微米級重複性和定位精度。而低摩擦側密封保護其免受灰塵或顆粒污染,保證其長時間正常運行,延長維護週期。 SMH560LM系列為客戶提供電纜管理選項,低摩擦側封使日常維護更簡易。

 SMH560LM系列直線運動平台是精密機械中的關鍵部件之一,它採用雙線性馬達驅動,持續推力664N,峰值推力4480N,適用於重負載,高速度和加速度的應用,主要應用於OLED切割、PCB鑽孔、數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個兼具精密定位,高速度和大負載的精密運動平台。

 

SMH560LM系列平台最小步進和動態性能測試

20nm最小步進(實驗室環境,配置線性放大器測試)

 

 

 ±10nm定位穩定性(實驗室環境,配置線性放大器測試)

 

平台型號\Model

SMH560LM-300

SMH560LM-400

SMH560LM-500

有效行程\Travel

300mm

400mm

500mm

定位精度\Accuracy

±μm

±μm

±μm

重複定位精度\Bi-Repeatability

±0.4 μm

±0.4 μm

±0.4 μm

俯仰\Pitch

10 arc sec

12.5 arc sec

14.5 arc sec

偏擺\Yaw

10 arc sec

12.5 arc sec

14.5 arc sec

直線度\Straightness

±μm

±μm

±μm

平面度\Flatness

±μm

±μm

±μm

平台重量\Stage Mass

98 kg

109 kg

118 kg

最大負載\Load Capacity

水平安裝

150kg

橫向安裝

150kg

解析度\Resolution1

1nm

最小步進量\Minimum Incremental Motion1

20nm

定位穩定性

\In Position Stability 1

±10nm

最大速度\Maximum Speed2

2m/s

最大加速度2

\Maximum Acceleration

3g

持續推力\Continuous Force

664N

峰值推力\Peak Force

4480N

平台材質\Material

平均無故障時間\MTBF

27,000 Hours

 

平台型號\Model

SMH560LM-600

SMH560LM-700

SMH560LM-800

有效行程\Travel

600mm

700mm

800mm

定位精度\Accuracy

±μm

±1.5 μm

±1.5μm

重複定位精度\Bi-Repeatability

±0.4 μm

±0.5 μm

±0.5 μm

俯仰\Pitch

16 arc sec

17 arc sec

18.5 arc sec

偏擺\Yaw

16 arc sec

17arc sec

18.5 arc sec

直線度\Straightness

±μm

±6.5 μm

±μm

平面度\Flatness

±μm

±6.5 μm

±μm

平台重量\Stage Mass

130 kg

140 kg

150 kg

最大負載\Load Capacity

水平安裝

150kg

橫向安裝

150kg

解析度\Resolution1

1nm

最小步進量\Minimum Incremental Motion1

20 nm

定位穩定性

\In Position Stability 1

±10nm

 

最大速度\Maximum Speed2

2m/s

最大加速度\Maximum Acceleration2

3g

持續推力\Continuous Force

664N

峰值推力\Peak Force

4480N

平台材質\Material

平均無故障時間\MTBF

27,000 Hours

 

備註:

  1. 適配-AS回饋,以及線性放大器;
  2. 空載,需配置相應功率的放大器;
  3. 預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關;
  4. 其他行程可客製。

型號

BASIC MODEL

標稱行程

NOMINAL TRAVEL

電子限位元行程

ELEC LIMIT TRAVEL

機械限位行程

MECH LIMIT TRAVEL

A

B

SMH560LM-300

300

302-306

340

737

250,500

SMH560LM-400

400

402-406

440

837

250,500,750

SMH560LM-500

500

502-506

540

937

250,500,750

SMH560LM-600

600

602-606

640

1,037

250,600,850

SMH560LM-800

800

802-806

840

1,237

250,600,850,1150

 

 

備註:

  1. 單位:mm
  2. 雙側拖鏈配置未顯示;
  3. 完整3D圖紙可官網下載。

產品配置選項

產品系列

行程(mm

載物台

回饋

電纜管理

SMH560LM

-300

-TTM
-TTR
-TTKxx

-AS
-TTL010

-TTL100

-CMS0
-CMS1
-CMS2

-400

-500

-600

-700

-800

 

行程選項

-300

300mm行程

-400

400mm行程

-500

500mm行程

-600

600mm行程

-700

700mm行程

-800

800mm行程

 

載物台選項

-TTM

載物台公制安裝孔

-TTR

載物台安裝孔位,為指定轉台設計

-TTKxx

為客戶客製載物台

 

回饋選項

-AS

VPP 1伏正弦模擬量輸入

-TTL010

10nm解析度數位量TTL信號輸入

-TTL100

0.1μm解析度 數位量TTL信號輸入

 

電纜管理選項

-CMS0

無電纜管理,僅留出線性馬達/回饋接頭

-CMS1

單側托線板、單拖鏈

-CMS2

雙側托線板、雙拖鏈