SMH190SD系列

分類： 線性位移平台 > 滾珠螺桿驅動線性位移平台

產品特點

．伺服線性馬達滾珠滾珠螺桿驅動
．高性能低成本解決方案
．堅固的機械結構，靈活的配置選項
．行程範圍100mm到800mm
．提供光柵尺和旋轉編碼器回饋選項
．斷電自鎖制動器功能

SMH190SD系列是可靈活配置的械直線運動平台，它交流無刷伺服線性馬達加滾珠滾珠螺桿驅動，最大速度可達300mm/s。SMH190SD系列平台可以作水平直線軸使用，也可以選擇帶斷電自鎖功能的刹車配置，作為Z軸平台與LM系列直線線性馬達平台配合使用。SMH190SD系列平台有旋轉編碼器和直線光柵尺多種回饋配置供客戶選擇，選配旋轉編碼器解析度小於0.5um，光柵尺選項解析度小於0.1μm。

SMH190SD系列高性能機械式直線導軌運動平台是精密機械中的關鍵部件之一，其主要特點是結構堅固，具備較強承載能力，一般選配制動器選項作Z向調焦台使用，主要應用於OLED切割、PCB鑽孔等雷射加工領域的雷射器或振鏡調焦、表面形貌測量的縱向掃描、以及數控加工、生物技術、IC封裝設備等領域。

SMH190SD系列平台最小步進和定位穩定性測試

±30nm 定位穩定性

100nm 最小步進

SMH190SD系列平台動態性能測試

10kg負載，200mm/s往返運動測試

平台型號\Model		SMH190SD-100	SMH190SD-150	SMH190SD-200	SMH190SD-250	SMH190SD-300
有效行程\Travel		100mm	150mm	200mm	250mm	300mm
定位精度\Accuracy	光柵尺	±0.6 μm	±1 μm	±1 μm	±1.2 μm	±1.2 μm
定位精度\Accuracy	旋轉編碼器	±1 μm	±1μm	±1.5 μm	±1.5 μm	±1.5 μm
重複定位精度\Bi-Repeatability	光柵尺	±0.25 μm	±0.4 μm	±0.4 μm	±0.4 μm	±0.5 μm
重複定位精度\Bi-Repeatability	旋轉編碼器	±1 μm	±1 μm	±1 μm	±1.5 μm	±1.5 μm
俯仰\Pitch		6 arc sec	7 arc sec	8 arc sec	8 arc sec	9 arc sec
橫滾\Roll		6 arc sec	7 arc sec	8 arc sec	8 arc sec	9 arc sec
偏擺\Yaw		6 arc sec	7 arc sec	8 arc sec	8 arc sec	9 arc sec
直線度\Straightness		±2 µm	±2.5 µm	±3 µm	±3 µm	±3.5 µm
平面度\Flatness		±2 µm	±2.5 µm	±3 µm	±3 µm	±3.5 µm
平台重量\Stage Mass(No Motor)		11.2 kg	12 kg	12.8 kg	13.7kg	14.6kg
平台重量\Stage Mass(No Motor)		11.2 kg	12 kg	12.8 kg	13.7kg	14.6kg
最大負載\Load Capacity	水平使用	60kg
最大負載\Load Capacity	豎直使用	40kg
解析度\Resolution	光柵尺	0.15 um
解析度\Resolution	旋轉編碼器	0.5 um
最小步進\Minimal Incremental Step		100 nm1，1μm2
定位穩定性\In Position Stability		30 nm1，1μm2
最大速度\Maximum Speed		300mm/s
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours

平台型號\Model		SMH190SD-400	SMH190SD-500	SMH190SD-600	SMH190SD-700	SMH190SD-800
有效行程\Travel		400mm	500mm	600mm	700mm	800mm
定位精度\Accuracy	光柵尺	±1.5 μm	±1.5 μm	±1.75 μm	±1.75 μm	±1.75 μm
定位精度\Accuracy	旋轉編碼器	±1.5 μm	±2 μm	±2 μm	±2.5 μm	±2.5 μm
重複定位精度\Bi-Repeatability	光柵尺	±0.5 μm	±0.5 μm	±0.5 μm	±0.5 μm	±0.75 μm
重複定位精度\Bi-Repeatability	旋轉編碼器	±1.5 μm	±1.5 μm	±1.5 μm	±1.5 μm	±1.5 μm
俯仰\Pitch		10 arc sec	12 arc sec	15 arc sec	16 arc sec	18 arc sec
橫滾\Roll		10 arc sec	12 arc sec	15 arc sec	16 arc sec	18 arc sec
偏擺\Yaw		10 arc sec	12 arc sec	15 arc sec	16 arc sec	18 arc sec
直線度\Straightness		±4.5 μm	±5.5 μm	±6.5 μm	±7.5 μm	±8.5 μm
平面度\Flatness		±4.5 μm	±5.5 μm	±6.5 μm	±7.5 μm	±8.5 μm
平台重量\Stage Mass(No Motor)		16.3kg	18.1 kg	19.9kg	22.5 kg	24.6kg
最大負載\Load Capacity	水平	60kg
最大負載\Load Capacity	豎直	40kg
解析度\Resolution	光柵尺	1nm, 10nm, 0.1μm
解析度\Resolution	旋轉編碼器	0.5 um
最小步進\Minimal Incremental Step		100 nm1，1μm2
定位穩定性\In Position Stability		30 nm1，1μm2
最大速度\Maximum Speed3		300mm/s
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours

備註：

適配-AS回饋；
適配-2500線旋轉編碼器回饋；
空載，需配置相應功率的放大器；
預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
其他行程可客製。

型號 BASIC MODEL	標稱行程 NOMINAL TRAVEL	A	B
SMH190SD-100	100	390	175,250
SMH190SD-150	150	440	175,250
SMH190SD-200	200	490	175,275
SMH190SD-250	250	540	175,275
SMH190SD-300	300	590	175,375
SMH190SD-400	400	690	175,450
SMH190SD-500	500	790	175,450
SMH190SD-600	600	890	175,575
SMH190SD-700	700	990	175,575
SMH190SD-800	800	1090	175,575,975

備註：

單位：mm；
雙側拖鏈配置未顯示；
完整3D圖紙可官網下載。

產品配置選項

產品系列	行程（mm）	載物台	回饋	電纜管理	線性馬達
SMH190SD	-100	-TTM -TTR -TTKxx	-AS -TTL010 -TTL100 -RTTL2500	-CMS0 -CMS1 -CMS2	-M200B -M200 -M400 -M400B
	-150
	-200
	-250
	-300
	-400
	-500
	-600
	-700
	-800

行程選項

-100	100 mm 行程
-150	150 mm 行程
-200	200 mm 行程
-250	250 mm 行程
-300	300 mm 行程
-400	400 mm 行程
-500	500 mm 行程
-600	600 mm 行程
-700	700 mm 行程
-800	800 mm 行程

載物台選項

-TTM	載物台公制安裝孔
-TTR	載物台安裝孔位，為指定轉台設計
-TTKxx	為客戶客製載物台

回饋選項

-AS	VPP 1伏正弦模擬量輸入
-TTL010	10nm解析度數位量TTL信號輸入
-TTL100	0.1μm解析度數位量TTL信號輸入
-RTTL2500	2500線旋轉編碼器