UCS100SD系列
分類： 線性位移平台 > 滾珠螺桿驅動線性位移平台
產品特點
．薄型結構，結構緊湊
．堅固的機械結構，可靈活組成XY或XYZ三軸子系統
．行程範圍50mm到200mm，提供旋轉編碼器回饋選項
．可配制動器選項，帶斷電自鎖功能
UCS100SD系列是高精密定位平台，採用交流無刷伺服線性馬達加滾珠滾珠螺桿驅動，橫向高度低，結構緊湊。UCS100SD系列平台不僅有接近直驅線性馬達一樣的精度性能，還能更加靈活的使用，它既可以作水平直線軸使用，也可以選配制動器，作為Z軸立起來與其它水平安裝的直線平台配合使用，水平最大負載25Kg，橫向安裝或者垂直安裝最大負載10kg。UCS100SD系列有旋轉編碼器回饋配置，選配旋轉編碼器解析度小於0.1μm。
UCS100SD系列平台是高精密滾珠螺桿傳動平台，其主要特點是橫向高度低，結構緊湊，而且堅固耐用，平台帶載里程超過2500km。UCS100SD提供高解析度和重複定位精度，主要應用於半導體晶圓測試和製造、自動顯微鏡觀測系統和高精度微機等應用。
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平台型號\Model |
UCS100SD-050 |
UCS100SD -100 |
UCS100SD-150 |
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有效行程\Travel |
50mm |
100mm |
150mm |
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精度\accuracy (校準後) |
±0.5μm |
±0.75 μm |
±1μm |
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重複定位精度\Repeatability |
±0.3μm |
±0.3 μm |
±0.3 μm |
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俯仰\Pitch |
6 arc sec |
8 arc sec |
10 arc sec |
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偏擺\Yaw |
6 arc sec |
8 arc sec |
10 arc sec |
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直線度\Straightness |
±1.25 µm |
±1.5 µm |
±1.75 µm |
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平面度\Flatness |
±1.25 µm |
±1.5 µm |
±1.75 µm |
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平台重量\Stage Mass(No Motor) |
1.5kg |
1.7 kg |
1.9kg |
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最大負載\Load Capacity1 |
水平 |
25kg |
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豎直 |
10kg |
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解析度\Resolution |
旋轉編碼器 |
0.1μm2 |
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最大速度\Maximum Speed3 |
80 mm/s |
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平台材質\Material |
鋁 |
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備註：
- 有效負載指標適用于單軸系統，並受限於2500公里行程的滾珠螺桿和滾珠壽命。
- 適配RTTL5000回饋選項；
- 使用占空比過高可能會影響精度；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 多軸配置或客製應用指標諮詢廠商。
UCS100SD-050
UCS100SD-100
UCS100SD-150
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
載物台 |
回饋 |
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UCS100 |
-050 |
-TTM |
-RTTL5000 |
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-100 |
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-150 |
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行程選項 |
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-050 |
50 mm |
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-100 |
100 mm |
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-150 |
150 mm |
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載物台選項 |
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-TTM |
載物台公制安裝孔 |
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-TTR |
載物台安裝孔位，為指定轉台設計 |
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-TTKxx |
為客戶客製載物台 |
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回饋選項 |
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-RTTL5000 |
5000線旋轉編碼器 |
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