
ART95SZ系列
分類: 線性位移平台 > Z軸線性位移平台
產品特點
.零摩擦雙氣缸配重,高動態性能(截止頻率大於100Hz)
.交叉滾柱導軌
.靈活的配置選項(不同行程和回饋)
.解析度1nm,重複定位精度±100nm,定位精度±150nm
.定位穩定性3nm(配置線性驅動器,配備隔振實驗室環境)
ART95SZ系列是奈米級定位精度的垂直運動平台,無齒槽直線線性馬達驅動,採用交叉滾柱導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達100Hz以上。
ART95SZ系列平台採用超薄結構設計,能有效節省安裝空間,是ART95系列水平運動奈米定位台的有效補充,雙氣缸平衡設計不僅美觀,通過氣缸平衡負載重量,能有效避免線性馬達長時間工作發熱現象,是高剛性和高可靠性的Z向奈米運動平台的首選。
ART95SZ系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力,最大速度可達250mm/s,空載加速度可達1g。配置線性放大器,配備隔振實驗室環境下,ART95SZ系列平台的定位穩定性3nm和最小步進量可以小於5nm,主要應用於通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因定序以及光學領域的光路對準等,可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
ART95SZ系列平台最小步進和定位穩定性測試
5nm最小步進(ASH回饋選項,配置線性放大器)
<3nm定位穩定性(ASH回饋選項,配置線性放大器
平台型號\Model |
ART95SZ-025 |
ART130SZ-050 |
有效行程\Travel |
25mm |
50mm |
絕對定位精度\Accuracy |
±150nm |
±150nm |
雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100 nm |
±100 nm |
單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45 nm |
±45 nm |
俯仰\Pitch |
10 arc sec |
10 arc sec |
偏擺\Yaw |
5 arc sec |
5 arc sec |
直線度\Straightness |
±1.5 µm |
±2 µm |
平面度\Flatness |
±2.5 µm |
±3.0 µm |
移動部分重量\Moving Mass |
0.5kg |
0.6kg |
平台重量\Stage Mass |
1kg |
1.4 kg |
最大負載\Load Capacity |
5 kg |
|
解析度\Resolution |
1 nm |
|
最小步進量\Minimum Incremental step1 |
5nm |
|
定位穩定性\In Position Stability 1 |
3nm |
|
最大速度\Maximum Speed2 |
200 mm/s |
|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1 g |
|
最大持續推力\Maximum Continuous Force |
21N |
|
最大峰值推力\Maximum Peak Force |
147N |
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平台材質\Material |
鋁 |
|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
備註:
- 適配-ASH回饋,線性放大器;
- 空載,需配置相應功率的放大器;
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關;
- 氣缸供氣需配置氣動三點組,必須清潔、乾燥,過濾至0.25μm以下顆粒,建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 其他行程可客製。
ART95SZ-025
ART95SZ-050
備註:
- 單位:mm;
- 電纜接頭未顯示;
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
產品系列 |
行程(mm) |
回饋 |
ART95SZ |
-025 |
-AS -ASH TTL005-TTL010 -TTL020 |
-050 |
行程選項
-025 |
25 mm 行程 |
-050 |
050 mm 行程 |
回饋選項
-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |