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ART95SZ系列

分類: 線性位移平台 > Z軸線性位移平台

產品特點

.奈米級的定位精度
.零摩擦雙氣缸配重,高動態性能(截止頻率大於100Hz)
.交叉滾柱導軌
.靈活的配置選項(不同行程和回饋)
.解析度1nm,重複定位精度±100nm,定位精度±150nm
.定位穩定性3nm(配置線性驅動器,配備隔振實驗室環境)
產品咨詢

ART95SZ系列是奈米級定位精度的垂直運動平台,無齒槽直線線性馬達驅動,採用交叉滾柱導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達100Hz以上。

ART95SZ系列平台採用超薄結構設計,能有效節省安裝空間,是ART95系列水平運動奈米定位台的有效補充,雙氣缸平衡設計不僅美觀,通過氣缸平衡負載重量,能有效避免線性馬達長時間工作發熱現象,是高剛性和高可靠性的Z向奈米運動平台的首選。 

ART95SZ系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力,最大速度可達250mm/s,空載加速度可達1g。配置線性放大器,配備隔振實驗室環境下,ART95SZ系列平台的定位穩定性3nm和最小步進量可以小於5nm,主要應用於通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因定序以及光學領域的光路對準等,可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。

 

ART95SZ系列平台最小步進和定位穩定性測試

 

5nm最小步進(ASH回饋選項,配置線性放大器)

 

<3nm定位穩定性(ASH回饋選項,配置線性放大器

 

平台型號\Model

ART95SZ-025

ART130SZ-050

有效行程\Travel

25mm

50mm

絕對定位精度\Accuracy

±150nm

±150nm

雙向重複定位精度\Bi-Repeatability

±100 nm

±100 nm

單向重複定位精度\Uni-Repeatability

±45 nm

±45 nm

俯仰\Pitch

10 arc sec

10 arc sec

偏擺\Yaw

5 arc sec

5 arc sec

直線度\Straightness

±1.5 µm

±2 µm

平面度\Flatness

±2.5 µm

±3.0 µm

移動部分重量\Moving Mass

0.5kg

0.6kg

平台重量\Stage Mass

 1kg

1.4 kg

最大負載\Load Capacity

5 kg

解析度\Resolution

1 nm

最小步進量\Minimum Incremental step1

5nm

定位穩定性\In Position Stability 1

3nm

最大速度\Maximum Speed2

200 mm/s

最大加速度\Maximum Acceleration2

1 g

最大持續推力\Maximum Continuous Force

21N

最大峰值推力\Maximum Peak Force

147N

平台材質\Material

平均無故障時間\MTBF

27,000 Hours

 

備註:

  1. 適配-ASH回饋,線性放大器;
  2. 空載,需配置相應功率的放大器;
  3. 預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關;
  4. 氣缸供氣需配置氣動三點組,必須清潔、乾燥,過濾至0.25μm以下顆粒,建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
  5. 其他行程可客製。

ART95SZ-025

 

ART95SZ-050

 

備註:

  1. 單位:mm
  2. 電纜接頭未顯示;
  3. 完整3D圖紙可官網下載。

產品配置選項

產品系列

行程(mm

回饋

ART95SZ

-025

-AS

-ASH

TTL005-TTL010

-TTL020

-050

 

  行程選項

-025

25 mm 行程

-050

050 mm 行程

 

 回饋選項

-AS

VPP 1伏正弦模擬量輸入

-ASH

高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入

-TTL005

5nm解析度數位量TTL信號輸入

-TTL010

10nm解析度數位量TTL信號輸入

-TTL020

20nm解析度數位量TTL信號輸入