CRS115SD系列

分類： 線性位移平台 > 滾珠螺桿驅動線性位移平台

產品特點

‧ 伺服線性馬達滾珠滾珠螺桿驅動
‧ 交叉滾柱導軌，可實現更好的最小步進量
‧ 堅固的機械結構，靈活配置成XY或者XYZ三軸子系統
‧ 行程範圍50mm到150mm提供光柵尺和旋轉編碼器回饋選項
‧ 可配制動器選項，帶斷電自鎖功能

CRS115SD系列是高精密機械運動平台，採用交流無刷伺服線性馬達加滾珠滾珠螺桿驅動，配置交叉滾柱導軌，兼具普通伺服線性馬達驅動平台的優點，同時又有比普通滾珠螺桿傳動平台更小的最小步進精度，CRS115SD系列最小步進量可以到達50nm，如果採用線性放大器，最小步進精度可以提升到25nm，重複定位精度小於±0.2μm。CRS115SD系列不僅有接近直驅線性馬達一樣的精度性能，還能更加靈活的使用，它既可以作水平直線軸使用，也可以選擇制動器選項，這樣就作為Z軸立起來與其它水平安裝的直線平台配合使用。CRS115SD系列有旋轉編碼器和直線光柵尺多種回饋配置供客戶選擇，選配旋轉編碼器解析度小於0.2μm，光柵尺選項解析度小於1nm。

CRS115SD系列平台是高精密滾珠螺桿傳動平台，它的主要特點是具有比普通滾珠螺桿傳動平台有更好的重複定位精度和更小的步進量。主要應用於OLED切割、PCB鑽孔等雷射加工領域的雷射器或振鏡調焦，表面形貌測量的縱向掃描，數控加工、生物技術、IC封裝設備等領域。CRS115SD系列平台為客戶提供一個能夠實現亞微米級定位運動平台。

CRS115SD系列平台最小步進測試

50nm最小步進

平台型號\Model		CRS115SD-050	CRS115SD-100	CRS115SD-150
有效行程\Travel		50mm	100mm	150mm
定位精度\Accuracy	光柵尺	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.6 μm
	旋轉編碼器	±0.75 μm	±1 μm	±1 μm
重複定位精度\Bi-Repeatability	光柵尺	±0.15 μm	±0.2 μm	±0.2 μm
	旋轉編碼器	±0.5 μm	±0.5 μm	±0.5 μm
俯仰\Pitch		12 arc sec	14 arc sec	16 arc sec
偏擺\Yaw		8 arc sec	10 arc sec	12 arc sec
直線度\Straightness		±1.25 µm	±1.5 µm	±1.75 µm
平面度\Flatness		±1.25 µm	±1.5 µm	±1.75 µm
平台重量\Stage Mass(No Motor)		3.2 kg	3.8 kg	4.5 kg
最大負載\Load Capacity1	水平使用	20kg
	豎直使用	7kg
解析度\Resolution	光柵尺	1nm,10nm,100nm 2
	旋轉編碼器	0.2μm 3
最大速度\Maximum Speed4		220mm/s
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours

備註：

有效負載指標適用于單軸系統，並受限於2500公里行程的滾珠螺桿和滾珠壽命。
適配-AS，TTL010, TTL100回饋；
適配RTTL5000回饋選項；
使用占空比過高可能會影響精度；
預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
多軸配置或客製應用指標諮詢廠商。

CSR115SD-050

CSR115SD-100

CSR115SD-150

備註：

單位：mm；
電纜接頭未顯示；
完整3D圖紙可官網下載。

產品系列	行程（mm）	載物台	回饋	電纜管理	線性馬達
CRS115SD	-050	-TTM -TTR -TTKxx	-AS -TTL010 -TTL100 -RTTL2500	-CMS0 -CMS1 -CMS2	-M200B -M200
	-100
	-150

行程選項
-050	50 mm
-100	100 mm
-150	150 mm

載物台選項
-TTM	載物台公制安裝孔
-TTR	載物台安裝孔位，為指定轉台設計
-TTKxx	為客戶客製載物台

回饋選項
-AS	VPP 1伏正弦模擬量輸入
-TTL010	10nm解析度數位量TTL信號輸入
-TTL100	0.1μm解析度數位量TTL信號輸入
-RTTL2500	2500線旋轉編碼器

電纜管理選項
-CMS0	無電纜管理，僅留出線性馬達回饋接頭
-CMS1	單側托線板、單拖鏈

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