PM系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
．雙線性馬達驅動，動態性能出色
．突出的幾何性能和承載能力
．結構緊湊，薄型結構，阿貝誤差小
．XY行程範圍350mm*250mm
．重複定位精度±0.3μm，定位精度±1μm
．多種回饋選項（零膨脹光柵尺可選）
PM350-250系列亞微米級定位精度的XY一體式精密定位平台，直線線性馬達直驅控制，採用兩軸一體式結構，具備非常優秀的性能和重複定位精度，雙向重複精度小於±0.3μm. PM350-250系列平台採用傑出的工業化設計，動態性能和幾何均非常出色，空載截止頻率最大可達120Hz以上，全行程平面度和直線度小於±2μm，是一款兼顧重負載和高精度的XY平台。
PM350-250系列平台結構精緻，有較強的驅動能力，上下軸均採用大推力雙線性馬達驅動，上下軸空載最大速度均可達到2000mm/s，空載加速度可達2g，在高速運動過程中仍然可以保證很小的動態跟隨誤差。例如，PM350-250系列 平台加工加工圖形如下，要求在1.2秒內完成整段軌跡，利用scope採集動態跟隨誤差小於12μm。PM350-250 系列平台集高精度，重負載，低橫向高度等優點於一身，主要應用在高速雷射加工、測量檢測、表面粗糙度檢測等需要亞微米級定位精度的工業領域和科研專案。
PM350-250系列平台最小步進和動態性能測試
最小步進20 nm（實驗室環境，配置線性放大器）
此圖型為150mmX75mm毫米的操場型圖形，其中4個拐角半徑大約4.5mm
1.2秒完成加工，動態跟隨誤差小於12μm
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有效行程\Travel |
350mm*250mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±1 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.3 μm |
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俯仰\Pitch |
18 arc sec |
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偏擺\Yaw |
10 arc sec |
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直線度\Straightness |
±2 μm |
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平面度\Flatness |
±2 μm |
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正交性\Orthogonality |
5 arc sec |
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最大速度\Maximum Speed1 |
2000 mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration1 |
2.0 g |
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持續推力\Continuous Force |
上軸\Upper Axis |
224.2 N |
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下軸\Lower Axis |
317.2 N |
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峰值推力\Peak Force |
上軸\Upper Axis |
1303 N |
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下軸\Lower Axis |
2023.4 N |
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最大負載\Load Capacity |
45 kg |
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平台重量\Stage Mass(No Motor) |
80kg |
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最小步進量\Minimum Incremental step2 |
20 nm |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 適配-AS回饋，以及線性放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
PM350-250
備註：
- 單位：mm；
- CMS電纜管理未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
名稱 |
回饋 |
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PM |
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-AS -TTL005 -TTL020 -TTL100 |
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回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL005 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
電纜管理選項
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-CMS0 |
無電纜管理，僅留出線性馬達回饋介面 |
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-CMS1 |
客戶拖鏈預留一根直徑4mm氣管、兩根根直徑4mm電纜 |
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