ONEXY系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
．底軸雙線性馬達驅動，動態性能出色
．更好的幾何性能和更高的承載能力
．薄型結構，阿貝誤差小
．最大行程範圍可達500mm*500mm
．重複定位精度±200nm，定位精度±500nm
．多種回饋選項（零膨脹光柵尺可選）
ONEXY系列是奈米級定位精度的XY一體式精密運動平台，直線線性馬達驅動，採用開放式結構，具備非常優秀的性能和定位精度，空載截止頻率可達120Hz以上。ONEXY系列採用傑出的工業化設計，外觀設計及幾何尺寸非常合理，例如，ONEXY-250-250負載能力可以達到45kg，全行程平面度和直線度小於±2μm，是一款兼顧重負載和高精度的XY平台，可以與Surface-Z聚焦升降台、Surface-Theta微調轉台組成多軸配置來滿足客戶應用。
ONEXY系列平台結構緊湊，有較強的驅動能力，下軸採用雙線性馬達驅動，上下軸空載最大速度均可達到2000mm/s，空載加速度可達2g。ONEXY系列平台具備豐富的行程選項，有250mm*250mm，350mm*350mm和500mm*500mm三種選擇，電子解析度1nm，最小步進小於50nm，它兼顧了大行程，高精度，重負載，低橫向高度等所有優點，主要應用在測量、晶圓檢測，表面粗糙度檢測，雷射切割等需要奈米級定位精度的工業領域和科研專案。
ONEXY系列平台定位穩定性、最小步進和動態性能測試：
±10nm定位穩定性（P-P值）（採樣頻率2K，採樣時長5s，配置線性放大器）
20nm連續5步（配置線性放大器）
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平台型號\Model |
ONEXY-250-250 |
ONEXY-350-350 |
ONEXY-500-500 |
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有效行程\Travel |
250mm*250mm |
350mm*350mm |
500mm*500mm |
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定位精度\Accuracy |
±0.5 μm |
±0.75 μm |
±0.75 μm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.2 μm |
±0.2 μm |
±0.2 μm |
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俯仰\Pitch |
9 arc sec |
11 arc sec |
13 arc sec |
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橫滾\Roll |
9 arc sec |
11 arc sec |
13 arc sec |
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偏擺\Yaw |
9 arc sec |
11 arc sec |
13 arc sec |
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直線度\Straightness |
±2 μm |
±2.5 μm |
±3 μm |
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平面度\Flatness |
±2 μm |
±2.5 μm |
±3 μm |
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正交性\Orthogonality |
15 arc sec |
15 arc sec |
15 arc sec |
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最大速度\Maximum Speed1 |
2000 mm/s |
2000 mm/s |
2000 mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration1 |
2.0 g |
2.0 g |
2.0 g |
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持續推力\Continuous Force |
上軸 |
112 N |
112 N |
112 N |
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下軸 |
224 N |
224 N |
224 N |
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最大負載\Load Capacity |
45 kg |
45 kg |
45 kg |
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平台重量\Stage Mass(No Motor) |
35kg |
45kg |
65kg |
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最小步進量\Minimum Incremental step2 |
50 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 2 |
±10nm |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 適配-AS回饋，以及16位回饋細分；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
ONEXY-250-250
ONEXY-350-350
ONEXY-500-500
備註：
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 適配-AS回饋，以及16位回饋細分；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
產品配置選項
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產品系列 |
名稱 |
回饋 |
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ONEXY |
ONEXY-250-250 ONEXY-500-500 |
-AS -TTL100 |
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回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-ASH |
高精度零膨脹、模擬量光柵尺 |
電纜管理選項
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-CMS0 |
無電纜管理，僅留出線性馬達回饋介面 |
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-CMS1 |
客戶拖鏈預留一根直徑6mm氣管、兩根根直徑6mm電纜 |
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