SurfaceZ系列

分類： 升降平台

產品特點

．高精度直驅升降台
．高動態性能（空載截止頻率大於120Hz）
．低橫向高度，適合空間緊湊應用場景
．可內置氣動平衡，最大負載15kg
．可與Surface-Theta或者直線軸組成多軸系統
．解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±200nm
．定位穩定性5nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）

產品咨詢

SurfaceZ是奈米級定位精度的垂直運動Z向平台，直線線性馬達驅動，採用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達200Hz以上。

SurfaceZ升降台是Surface系列運動平台的有效補充，可以與Surface-Theta或者Surface-350-350平面氣浮組成多軸系統來滿足客戶應用。在一些高端半導體應用案例中，對整體運動系統有嚴苛的精度和幾何性能要求，Surface系列可以為這類應用提供整體解決方案。SurfaceZ平台橫向高度低，阿貝誤差小且節省空間，內置氣動平衡裝置最大承載15kg負載，可以同時滿足重負載，高精度和低側面的要求。

SurfaceZ平台結構緊湊小巧，但是有較高的定位精度，配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，SurfaceZ平台的定位穩定性和最小步進量可以小於5nm，主要應用於半導體領域的光刻、檢測和封裝、外形輪廓測量、生物醫療領域的基因定序等，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。

SurfaceZ平台動態性能測試

5nm 步進（配置線性放大器）

0.1mm 步進，50ms穩定到±50nm

平台型號\Model	Surface Z-005	Surface Z-010
有效行程\Travel	5 mm	10mm
定位精度\Accuracy	±200 nm	±300 nm
雙向重複定位精度\Bi-Repeatability	±100 nm	±150 nm
俯仰\Pitch	15 arc sec	20 arc sec
偏擺\Yaw	15 arc sec	20 arc sec
直線度\Straightness1	±1.5 µm	±2 µm
平台重量\Stage Mass	4.5 kg	5.5 kg
最大負載\Load Capacity2	8 kg	8 kg
解析度\Resolution3	1 nm
定位穩定性\In Position Stability 3	5 nm
最小步進量\Minimum Incremental step3	5 nm
最大速度\Maximum Speed4	5 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration4	0.7 g
持續推力\Continuous Force	23 N
峰值推力\Continuous Force	170 N
平台材質\Material	鋁
平均無故障時間\MTBF	27,000 Hours