
Surface系列
分類: 氣浮系統 > 平面氣浮
產品特點
.雙驅軸、橫樑軸均採用空氣導軌的H型式結構
.靈活的配置選項(XY可客製行程)
.XY平面式設計,低剖面阿貝誤差小
.最大速度2m/s,最大加速度2g
.解析度1nm,重複定位精度±100nm,定位精度±250nm
.選用高精密零膨脹係數光柵回饋,膨脹係數低,受溫漂影響小
Surface系列是地心科技高精度和高動態性能平面氣浮平台,它是XY雙氣浮軸承正負壓設計,採用空氣環繞型預載,利用空氣負壓來平衡氣浮導軌往上浮和下壓預載力,保證氣浮面的正常氣隙,幾何性能非常出色,俯仰和偏擺角度均小於2弧秒。
雙氣浮軸承設計提升Surface系列氣浮平台的負載能力和剛度,一階自然回應頻率可達330Hz以上,空載截止頻率可達100Hz以上,使其具備高速高效運動,同時又能減少步進穩定時間。
Surface 系列平台雙驅軸與橫樑軸均採用空氣導軌的H型結構,零摩擦設計保證了出色的動態性能和效率,最大速度可達2m/s,最大加速度2g。Surface 系列平台行程可以根據客戶要求客製,還可與Surface Z 、Surface Theta組合為X-Y-Z-Theta的多軸系統, 適用於不同尺寸和工藝的晶圓檢測應用。
Surface系列平台最小步進和定位穩定性測試
±8nm定位穩定性(ASH回饋,配置線性放大器)
10nm最小步進(ASH回饋,配置線性放大器)
Model |
Surface350-350 |
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有效行程\Travel |
350mm * 350mm |
|
定位精度\Accuracy1 |
±250 nm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability1 |
±100 nm |
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俯仰\Pitch |
3 arc sec |
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橫滾\Roll |
3 arc sec |
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偏擺\Yaw |
3 arc sec |
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持續推力\Continuous Force |
橫樑軸 |
205.5 N |
雙驅軸 |
252.2 N*2 |
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峰值推力\Peak Force |
橫樑軸 |
1228.8 N |
雙驅軸 |
1395 N*2 |
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正交性\Orthogonality |
2 arc sec |
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剛性-一階自然頻率(帶載)\Stiffness, First Natural Frequency (Rated Payload) |
大於330Hz |
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直線度\Straightness |
±1.0 µm |
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平面度\Flatness |
±1.5 µm |
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最大負載\Load Capacity |
30 kg |
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解析度\Resolution1 |
1 nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
2000 mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2g |
備註:
- 適配-ASH回饋,配置線性放大器;
- 空載,需配置相應功率的放大器,最大速度受限於回饋解析度;
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關;
- 氣缸供氣需配置氣動三點組,必須清潔、乾燥,過濾至0.25μm以下顆粒,建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 為了防止空氣軸承氣壓不足,建議安裝氣壓開關,信號輸入到運動控制器連接急停(E-STOP)埠。
備註:
- 1單位:mm;
- 2Surface Z\Surface -Theta未顯示;
- 3完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
產品系列 |
行程(mm) |
光柵尺編碼方式 |
Surface |
-350-350 -350-500 -400-500 -500-650 |
-AS -TTL100 -TTL010 -TTL005 -ASH |
行程選項 |
|
-350-350 |
雙驅軸:350 mm 行程,橫樑軸:350mm行程 |
-350-500 |
雙驅軸:350 mm 行程,橫樑軸:500mm行程 |
-400-500 |
雙驅軸:400 mm 行程,橫樑軸:500mm行程 |
-500-650 |
雙驅軸:500 mm 行程,橫樑軸:650mm行程 |
回饋選項 |
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
-ASH |
高精度零膨脹光柵尺,VPP 1伏正弦模擬量輸入 |