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Surface系列

分類: 氣浮系統 > 平面氣浮

產品特點

.高動態性能(截止頻率>330Hz)
.雙驅軸、橫樑軸均採用空氣導軌的H型式結構
.靈活的配置選項(XY可客製行程)
.XY平面式設計,低剖面阿貝誤差小
.最大速度2m/s,最大加速度2g
.解析度1nm,重複定位精度±100nm,定位精度±250nm
.選用高精密零膨脹係數光柵回饋,膨脹係數低,受溫漂影響小
產品咨詢

Surface系列是地心科技高精度和高動態性能平面氣浮平台,它是XY雙氣浮軸承正負壓設計,採用空氣環繞型預載,利用空氣負壓來平衡氣浮導軌往上浮和下壓預載力,保證氣浮面的正常氣隙,幾何性能非常出色,俯仰和偏擺角度均小於2弧秒。

雙氣浮軸承設計提升Surface系列氣浮平台的負載能力和剛度,一階自然回應頻率可達330Hz以上,空載截止頻率可達100Hz以上,使其具備高速高效運動,同時又能減少步進穩定時間。

Surface 系列平台雙驅軸與橫樑軸均採用空氣導軌的H型結構,零摩擦設計保證了出色的動態性能和效率,最大速度可達2m/s,最大加速度2gSurface 系列平台行程可以根據客戶要求客製,還可與Surface Z Surface Theta組合為X-Y-Z-Theta的多軸系統, 適用於不同尺寸和工藝的晶圓檢測應用。

 

Surface系列平台最小步進和定位穩定性測試

±8nm定位穩定性(ASH回饋,配置線性放大器)

 

10nm最小步進ASH回饋,配置線性放大器)

Model

Surface350-350

有效行程\Travel

350mm * 350mm

定位精度\Accuracy1

±250 nm

重複定位精度\Bi-Repeatability1

±100 nm

俯仰\Pitch

3 arc sec

橫滾\Roll

3 arc sec

偏擺\Yaw

3 arc sec

持續推力\Continuous Force

橫樑軸

205.5 N

雙驅軸

252.2 N*2

峰值推力\Peak Force

橫樑軸

1228.8 N

雙驅軸

1395 N*2

正交性\Orthogonality

2 arc sec

剛性-一階自然頻率(帶載)\Stiffness, First Natural Frequency (Rated Payload)

大於330Hz

直線度\Straightness

±1.0 µm

平面度\Flatness

±1.5 µm

最大負載\Load Capacity

30 kg

解析度\Resolution1

1 nm

最大速度\Maximum Speed2

2000 mm/s

最大加速度\Maximum Acceleration2

2g

 

備註:

  1. 適配-ASH回饋,配置線性放大器;
  2. 空載,需配置相應功率的放大器,最大速度受限於回饋解析度;
  3. 預設測試點位置為檯面上方25 mm,單軸指標,多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關;
  4. 氣缸供氣需配置氣動三點組,必須清潔、乾燥,過濾至0.25μm以下顆粒,建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
  5. 為了防止空氣軸承氣壓不足,建議安裝氣壓開關,信號輸入到運動控制器連接急停(E-STOP)埠。

 

備註:

  1. 1單位:mm
  2. 2Surface Z\Surface -Theta未顯示;
  3. 3完整3D圖紙可官網下載。

產品配置選項

產品系列

行程(mm

光柵尺編碼方式

Surface

-350-350

-350-500

-400-500

-500-650

-AS

-TTL100

-TTL010

-TTL005

-ASH

 

行程選項

-350-350

雙驅軸:350 mm 行程,橫樑軸:350mm行程

-350-500

雙驅軸:350 mm 行程,橫樑軸:500mm行程

-400-500

雙驅軸:400 mm 行程,橫樑軸:500mm行程

-500-650

雙驅軸:500 mm 行程,橫樑軸:650mm行程

 

 

回饋選項

-AS

VPP 1伏正弦模擬量輸入

-TTL100

0.1μm解析度數位量TTL信號輸入

-TTL010

10nm解析度數位量TTL信號輸入

-TTL005

5nm解析度數位量TTL信號輸入

-ASH

高精度零膨脹光柵尺,VPP 1伏正弦模擬量輸入