ART95XYZ系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
．零摩擦氣缸配重，高動態性能（截止頻率大於100Hz）
．交叉滾柱導軌
．靈活的配置選項（不同的行程和回饋）
．結構緊湊，XYZ一體式設計
．解析度1nm，重複定位精度±100nm，定位精度±200nm
．定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
ART95XYZ系列是奈米級定位精度的XYZ一體式運動平台，直線線性馬達驅動，採用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。採用XYZ一體設計，具有精度高、尺寸小、整合度高的特點，XYZ行程可以根據客戶需求客製，它可以作為三維運動平台單獨使用，還可以與RSML系列轉台搭配使用，組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。
ART95XYZ系列平台雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大速度可達200mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，ART95XYZ系列平台的定位穩定性可達3nm和最小步進量可以小於5nm，主要應用於通訊領域的光纖耦合，半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因定序以及光學領域光路對準等，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
精巧的結構設計保證了ART95XYZ系列出色的精度和動態性能，特別是在速度穩定性要求嚴苛的應用中，它的優異性能得到了很好的體現。
ART95XYZ系列平台最小步進和定位穩定性測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器
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平台型號\Model |
ART95XYZ-025-025-025 |
ART95XYZ-050-050-025 |
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有效行程\Travel |
25mm*25mm*25mm |
50mm*50mm*25mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±200nm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±100nm |
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單向重複定位精度\Uni-Repeatability |
±45 nm |
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俯仰\Pitch |
10arc sec |
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偏擺\Yaw |
5arc sec |
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正交性\Orthogonality |
5arc sec |
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直線度\Straightness |
±3 µm |
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平面度\Flatness |
±3 µm |
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平台重量\Stage Mass |
5.0 kg |
5.0 kg |
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最大負載\Load Capacity |
4.0 kg |
6.0 kg |
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解析度\Resolution1 |
1nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
5 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
3nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
200mm/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration2 |
1g |
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最大持續推力\Maximum Continuous Force |
21N |
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最大峰值推力\Maximum Peak Force |
147N |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-ASH回饋，線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 其他行程可客製。
ART95XYZ-025-025-025
ART95XYZ-050-050-025
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
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ART95XYZ |
025-025-025 |
-AS -ASH -TTL005 -TTL020 |
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050-050-025 |
回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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