SMH225SD系列
分類： 線性位移平台 > 滾珠螺桿驅動線性位移平台
產品特點
．高性能低成本解決方案
．堅固的機械結構
．靈活的配置選項
．行程範圍100mm到800mm
．提供光柵尺和旋轉編碼器回饋選項
．斷電自鎖制動器功能
SMH225SD系列是可靈活配置的械直線運動平台，採用交流無刷伺服線性馬達加滾珠滾珠螺桿驅動，最大速度可達300mm/s。SMH225SD系列平台可以作水平直線軸使用，也可以選擇帶斷電自鎖功能的制動器配置，作為Z軸平台與LM系列直線線性馬達平台配合使用。SMH225SD系列平台有旋轉編碼器和直線光柵尺多種回饋配置供客戶選擇，選配旋轉編碼器解析度小於0.5um，光柵尺選項解析度小於0.1μm。
SMH225SD系列高性能機械式直線導軌運動平台是精密機械中的關鍵部件之一，其主要特點是結構堅固，具備較強承載能力，一般選配制動器選項作Z向調焦台使用，主要應用於OLED切割、PCB鑽孔等雷射加工領域的雷射器或振鏡調焦、表面形貌測量的縱向掃描、以及數控加工、生物技術、IC封裝設備等領域。
SMH225SD系列平台最小步進和定位穩定性測試
±30nm 定位穩定性
100nm 最小步進
SMH225SD系列平台動態性能測試
10kg負載，200mm/s往返運動測試
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平台型號\Model |
SMH225SD-100 |
SMH225SD-150 |
SMH225SD-200 |
SMH225SD-250 |
SMH225SD-300 |
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有效行程\Travel |
100mm |
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200mm |
250mm |
300mm |
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定位精度\Accuracy |
光柵尺 |
±0.6 μm |
±1 μm |
±1 μm |
±1.2 μm |
±1.2 μm |
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旋轉編碼器 |
±1 μm |
±1 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
光柵尺 |
±0.25 μm |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.5 μm |
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旋轉編碼器 |
±1 μm |
±1 μm |
±1 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
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|
俯仰\Pitch |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
8 arc sec |
9 arc sec |
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|
橫滾\Roll |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
8 arc sec |
9 arc sec |
||
|
偏擺\Yaw |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
8 arc sec |
9 arc sec |
||
|
直線度\Straightness |
±2 µm |
±2.5 µm |
±3 µm |
±3 µm |
±3.5 µm |
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|
平面度\Flatness |
±2 µm |
±2.5 µm |
±3 µm |
±3 µm |
±3.5 µm |
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平台重量\Stage Mass(No Motor) |
20.5 kg |
21.7kg |
22.9 kg |
24.2 kg |
25.4kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平 |
100kg |
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|
豎直 |
60kg |
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解析度\Resolution |
光柵尺 |
0.15 um |
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旋轉編碼器 |
0.5 um |
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最小步進\Minimal Incremental Step |
100 nm1，1μm2 |
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定位穩定性\In Position Stability |
30 nm1，1μm2 |
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最大速度\Maximum Speed2 |
300mm/s |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
SMH225SD-400 |
SMH225SD-500 |
SMH225SD-600 |
SMH225SD-700 |
SMH225SD-800 |
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有效行程\Travel |
400mm |
500mm |
600mm |
700mm |
800mm |
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定位精度\Accuracy |
光柵尺 |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.75 μm |
±1.75 μm |
±1.75 μm |
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旋轉編碼器 |
±1.5 μm |
±2 μm |
±2 μm |
±2.5 μm |
±2.5 μm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
光柵尺 |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.75 μm |
±0.75 μm |
|
旋轉編碼器 |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
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俯仰\Pitch |
10 arc sec |
12 arc sec |
15 arc sec |
16 arc sec |
18 arc sec |
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|
橫滾\Roll |
10 arc sec |
12 arc sec |
15 arc sec |
16 arc sec |
18 arc sec |
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|
偏擺\Yaw |
10 arc sec |
12 arc sec |
15 arc sec |
16 arc sec |
18 arc sec |
|
|
直線度\Straightness |
±4.5 μm |
±5.5 μm |
±6.5 μm |
±7.5 μm |
±8.5 μm |
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|
平面度\Flatness |
±4.5 μm |
±5.5 μm |
±6.5 μm |
±7.5 μm |
±8.5 μm |
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平台重量\Stage Mass(No Motor) |
27.7 kg |
30.1kg |
31.2 kg |
34.8 kg |
35.9 kg |
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|
最大負載\Load Capacity |
水平使用 |
100kg |
||||
|
豎直使用 |
60kg |
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|
解析度\Resolution |
光柵尺 |
0.15 um |
||||
|
旋轉編碼器 |
0.5 um |
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|
最小步進\Minimal Incremental Step |
100 nm1，1μm2 |
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|
定位穩定性\In Position Stability |
30 nm1，1μm2 |
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|
最大速度\Maximum Speed2 |
300mm/s |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-AS回饋；
- 適配-2500線旋轉編碼器回饋；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製。
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型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
A |
B |
|
SMH225SD-100 |
100 |
436 |
200,350 |
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SMH190SD-150 |
150 |
440 |
200,250 |
|
SMH225SD-200 |
200 |
536 |
200,350 |
|
SMH190SD-250 |
150 |
440 |
200,250 |
|
SMH225SD-300 |
300 |
636 |
200,500 |
|
SMH225SD-400 |
400 |
736 |
200,600 |
|
SMH225SD-500 |
500 |
836 |
200,600 |
|
SMH225SD-600 |
600 |
936 |
200,600 |
|
SMH225SD-700 |
700 |
1036 |
200,600 |
|
SMH225SD-800 |
800 |
1136 |
200,600,1000 |
備註：
- 單位：mm；
- 雙側拖鏈配置未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
載物台 |
回饋 |
電纜管理 |
線性馬達 |
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SMH225SD |
-100 |
-TTM |
-AS -TTL100 |
-CMS0 |
-M750B |
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-150 |
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-200 |
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|
-250 |
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|
-300 |
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-400 |
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-500 |
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-600 |
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|
-700 |
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-800 |
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行程選項 |
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-100 |
100 mm 行程 |
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-150 |
150 mm 行程 |
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-200 |
200 mm 行程 |
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-250 |
250 mm 行程 |
|
-300 |
300 mm 行程 |
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-400 |
400 mm 行程 |
|
-500 |
500 mm 行程 |
|
-600 |
600 mm 行程 |
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-700 |
600 mm 行程 |
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-800 |
800 mm 行程 |
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載物台選項 |
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-TTM |
載物台公制安裝孔 |
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-TTR |
載物台安裝孔位，為指定轉台設計 |
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-TTKxx |
為客戶客製載物台 |
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回饋選項 |
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-RTTL2500 |
2500線旋轉編碼器 |
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電纜管理選項 |
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-CMS0 |
無電纜管理，僅留出線性馬達回饋接頭 |
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-CMS1 |
單側托線板、單拖鏈 |
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-CMS2 |
雙側托線板、雙拖鏈 |
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馬達選項 |
|
|
-M750B |
200W線性馬達帶制動器 |
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-M750 |
200W線性馬達 |
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