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ZTT200系列

分類: 客製化運動系統

產品特點

.升降(Z)和調平(Tip-tilt)一體平台
.採用球形鉸鏈結構,多軸聯動控制
.結構緊湊,側面高度低
.Z向微動步距100nm,Tip-tilt微動步距1 arcsec
.採用直線線性馬達驅動,具備較好的動態性能
產品咨詢

ZTT 200是垂直升降與水平調平三軸一體式精密定位平台,利用三個直線線性馬達驅動,採用精密球形鉸鏈耦合,具備非常優秀的微動精度和動態性能,整體高度小,尺寸精巧,厚度60mm,檯面直徑200mm,負載能力可達8kg,相容潔淨室環境使用。

 ZTT 200是一款兼具點到點的靜態定位精度,同時具備非常突出的動態精度,可以適應對微動和動態跟隨誤差要求嚴格的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無掩膜光刻等應用,可以根據感測器聚焦高度即時調整高度和角度姿態,全方位解決客戶的運動控制難題。 

 

ZTT 200平台最小步進測試

100nm最小步進

1弧秒最小步進

軸名稱

Z

θx

θy

有效行程\Travel

10mm

2°

2°

定位精度\Accuracy

±0.5 μm

NA

NA

重複定位精度\Bi-Repeatability

±0.25 μm

±1.5 arcsec

±1.5 arcsec

俯仰\Pitch

10 arc sec

NA

NA

偏擺\Yaw

10 arc sec

NA

NA

直線度\Straightness

±1.5 μm

NA

NA

平面度\Flatness

±1.5 μm

NA

NA

最大速度\Maximum Speed1

200 mm/s

NA

NA

最大加速度\Maximum Acceleration1

1 g

NA

NA

最小步進量\Minimum Incremental step2

100nm

 1 arcsec

1arcsec

最大負載\Load Capacity

10 kg

平台重量\Stage Mass

6.5 kg

平台材質\Material

平均無故障時間\MTBF

27,000 Hours

 

備註:

  1. 空載,需配置相應功率的放大器;
  2. 預設測試點位置為檯面上方25 mm

備註:

  1. 單位:mm
  2. 電纜接頭未顯示;
  3. 完整3D圖紙可官網下載。

產品配置選項

產品系列

檯面大小

回饋

 

ZTT

-200

-AS

 
 
 
 
 

 

回饋選項

-AS

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