
ZTT200系列
分類: 客製化運動系統
產品特點
.採用球形鉸鏈結構,多軸聯動控制
.結構緊湊,側面高度低
.Z向微動步距100nm,Tip-tilt微動步距1 arcsec
.採用直線線性馬達驅動,具備較好的動態性能
ZTT 200是垂直升降與水平調平三軸一體式精密定位平台,利用三個直線線性馬達驅動,採用精密球形鉸鏈耦合,具備非常優秀的微動精度和動態性能,整體高度小,尺寸精巧,厚度60mm,檯面直徑200mm,負載能力可達8kg,相容潔淨室環境使用。
ZTT 200是一款兼具點到點的靜態定位精度,同時具備非常突出的動態精度,可以適應對微動和動態跟隨誤差要求嚴格的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無掩膜光刻等應用,可以根據感測器聚焦高度即時調整高度和角度姿態,全方位解決客戶的運動控制難題。
ZTT 200平台最小步進測試
100nm最小步進
1弧秒最小步進
軸名稱 |
Z |
θx |
θy |
有效行程\Travel |
10mm |
2° |
2° |
定位精度\Accuracy |
±0.5 μm |
NA |
NA |
重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.25 μm |
±1.5 arcsec |
±1.5 arcsec |
俯仰\Pitch |
10 arc sec |
NA |
NA |
偏擺\Yaw |
10 arc sec |
NA |
NA |
直線度\Straightness |
±1.5 μm |
NA |
NA |
平面度\Flatness |
±1.5 μm |
NA |
NA |
最大速度\Maximum Speed1 |
200 mm/s |
NA |
NA |
最大加速度\Maximum Acceleration1 |
1 g |
NA |
NA |
最小步進量\Minimum Incremental step2 |
100nm |
1 arcsec |
1arcsec |
最大負載\Load Capacity |
10 kg |
||
平台重量\Stage Mass |
6.5 kg |
||
平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
備註:
- 空載,需配置相應功率的放大器;
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm。
備註:
- 單位:mm;
- 電纜接頭未顯示;
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
產品系列 |
檯面大小 |
回饋 |
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ZTT |
-200 |
-AS |
|
回饋選項
-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |