SMH165SD系列
分類： 線性位移平台 > 滾珠螺桿驅動線性位移平台
產品特點
．高性能低成本解決方案
．堅固的機械結構，靈活的配置選項
．行程範圍50mm到500mm
．提供光柵尺和旋轉編碼器回饋選項
．斷電制動器自鎖功能
SMH165SD系列是可靈活配置的械直線運動平台，採用交流無刷伺服線性馬達加滾珠滾珠螺桿驅動，最大速度可達300mm/s。SMH165SD系列平台可以作水平直線軸使用，也可以選擇帶斷電自鎖功能的制動器配置，作為Z軸平台與LM系列直線線性馬達平台配合使用。SMH165SD系列平台有旋轉編碼器和直線光柵尺多種回饋配置供客戶選擇，選配旋轉編碼器解析度小於0.5um，光柵尺選項解析度小於0.1μm。
SMH165SD系列高性能機械式直線導軌運動平台是精密機械中的關鍵部件之一，其主要特點是結構堅固，具備較強承載能力，一般選配制動器選項作Z向調焦台使用，主要應用於OLED切割、PCB鑽孔等雷射加工領域的雷射器或振鏡調焦、表面形貌測量的縱向掃描、以及數控加工、生物技術、IC封裝設備等領域。
SMH165SD系列平台最小步進和定位穩定性測試
±30nm 定位穩定性
100nm 最小步進
SMH165SD系列平台動態性能測試
10kg負載，200mm/s往返運動測試
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平台型號\Model |
SMH165SD-050 |
SMH165SD-100 |
SMH165SD-150 |
SMH165SD-200 |
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有效行程\Travel |
50mm |
100mm |
150mm |
200mm |
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定位精度\Accuracy |
光柵尺 |
±0.6 μm |
±0.6μm |
±1.0 μm |
±1.0 μm |
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旋轉編碼器 |
±1 μm |
±1 μm |
±1 μm |
±1.5 μm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
光柵尺 |
±0.25 μm |
±0.25 μm |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
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旋轉編碼器 |
±0.8 μm |
±1 μm |
±1 μm |
±1 μm |
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俯仰\Pitch |
4 arc sec |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
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|
橫滾\Roll |
4 arc sec |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
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|
偏擺\Yaw |
4 arc sec |
6 arc sec |
7 arc sec |
8 arc sec |
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|
直線度\Straightness |
±1.5 µm |
±2 µm |
±2.5 µm |
±3 µm |
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|
平面度\Flatness |
±1.5 µm |
±2 µm |
±2.5 µm |
±3 µm |
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|
平台重量\Stage Mass(No Motor) |
6.2 kg |
6.7 kg |
7.3 kg |
7.8 kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平 |
45kg |
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豎直 |
25kg |
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解析度\Resolution |
光柵尺 |
0.15 um |
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旋轉編碼器 |
0.5 um |
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最小步進\Minimal Incremental Step |
100 nm1，1μm2 |
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定位穩定性\In Position Stability |
30 nm1，1μm2 |
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最大速度\Maximum Speed2 |
300mm/s |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
SMH165SD-250 |
SMH165SD-300 |
SMH165SD-400 |
SMH165SD-500 |
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有效行程\Travel |
250mm |
300mm |
400mm |
500mm |
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定位精度\Accuracy |
光柵尺 |
±1.2 μm |
±1.2 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
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旋轉編碼器 |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±2 μm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
光柵尺 |
±0.4 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.5 μm |
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旋轉編碼器 |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
±1.5 μm |
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俯仰\Pitch |
8 arc sec |
9 arc sec |
10 arc sec |
12 arc sec |
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|
橫滾\Roll |
8 arc sec |
9 arc sec |
10 arc sec |
12 arc sec |
||
|
偏擺\Yaw |
8 arc sec |
9 arc sec |
10 arc sec |
12 arc sec |
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|
直線度\Straightness |
±3 µm |
±3.5µm |
±4.5 µm |
±5.5 µm |
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|
平面度\Flatness |
±3 µm |
±3.5 µm |
±4.5 µm |
±5.5 µm |
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|
平台重量\Stage Mass(No Motor) |
8.3 kg |
8.9 kg |
9.9 kg |
11 kg |
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最大負載\Load Capacity |
水平 |
45kg |
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|
豎直 |
25kg |
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解析度\Resolution |
光柵尺 |
1nm, 10nm, 0.1μm |
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旋轉編碼器 |
0.5 μm |
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最小步進\Minimal Incremental Step |
100 nm1，1μm2 |
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定位穩定性\In Position Stability |
30 nm1，1μm2 |
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|
最大速度\Maximum Speed3 |
300mm/s |
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|
平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-AS回饋；
- 適配-2500線旋轉編碼器回饋；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；4其他行程可客製。
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型號 BASIC MODEL |
標稱行程 NOMINAL TRAVEL |
A |
B |
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SMH165SD-050 |
50 |
280 |
150 |
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SMH165SD-100 |
100 |
330 |
150 |
|
SMH165SD-150 |
150 |
380 |
150 |
|
SMH165SD-200 |
200 |
430 |
150,350 |
|
SMH165SD-250 |
250 |
480 |
150,350 |
|
SMH165SD-300 |
300 |
530 |
150,350 |
|
SMH165SD-400 |
400 |
630 |
150,350,550 |
|
SMH165SD-500 |
500 |
730 |
150,350,550 |
備註：
- 單位：mm；
- 雙側拖鏈配置未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
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行程選項 |
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-050 |
50 mm |
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-100 |
100 mm |
|
-150 |
150 mm |
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-200 |
200 mm |
|
-250 |
250 mm |
|
-300 |
300 mm |
|
-400 |
400 mm |
|
-500 |
500 mm |
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載物台選項 |
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-TTM |
載物台公制安裝孔 |
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-TTR |
載物台安裝孔位，為指定轉台設計 |
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-TTKxx |
為客戶客製載物台 |
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回饋選項 |
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL回饋信號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-RTTL2500 |
2500線旋轉編碼器 |
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電纜管理選項 |
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-CMS0 |
無電纜管理，僅留出線性馬達回饋接頭 |
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-CMS1 |
單側托線板、單拖鏈 |
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-CMS2 |
雙側托線板、雙拖鏈 |
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馬達選項 |
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-M200B |
200W線性馬達帶制動器 |
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-M200 |
200W線性馬達 |
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-M400 |
400W線性馬達 |
|
-M400B |
400W線性馬達帶制動器 |
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