LAB210系列
分類： 線性位移平台 > 氣浮直驅線性位移平台
產品特點
．高動態性能（截止頻率大於120Hz）
．空氣環繞型預載，零摩擦
．高剛性和重負載設計
．為高性能掃描和檢測應用量身設計
．解析度1 nm，重複定位精度±0.1μm，定位精度±0.2μm
．氣隙平均效應，直線度平面度可達±25μm/100mm
．行程最可達500 mm，帶電纜管理
．高精密零膨脹光柵回饋可選
LAB210是奈米級定位精度的氣浮平台，採用直線線性馬達驅動，利用空氣彈性勢能作為支撐導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率最大可達120Hz以上。氣浮平台是正負壓設計，空氣負壓保證空氣導軌的正常氣隙。對於一些大體積負載在氣浮導軌上不均勻分佈的應用，這種設計的優勢就體現出來了，非常適合重負載的應用。
專業的設計和製造技術鑄就了LAB210平台傑出的幾何性能，超薄的氣隙有利於減少步進穩定時間， LAB210平台的最小步進優於10nm；1mm和25mm步進快速穩定測試可以分別在40ms和170ms內穩定到±100nm。同時LAB210平台的平面度、直線度以及Pitch/Yaw/Roll擺角指標控制也相當出色。
LAB210平台有較強的驅動能力，最大空載速度2000mm/s，空載加速度可達2g，主要應用於大型光學透鏡檢測、半導體領域的晶圓缺陷檢測、精密製造和封裝等，可以根據客戶的應用提供靈活的客製方案。
LAB210系列平台最小步進測試
10nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器）
20nm最小步進（實驗室環境，配置線性放大器）
LAB210系列平台動態性能測試
2.2mm@40ms@±350nm（實驗室環境，配置線性放大器）
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平台型號\Model |
LAB210-050 |
LAB210-100 |
LAB210-200 |
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有效行程\Travel |
50 mm |
100 mm |
200 mm |
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定位精度\Accuracy |
±0.2 μm |
±0.2 μm |
±0.3 μm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.1 μm |
±0.1 μm |
±0.1 μm |
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俯仰\Pitch |
±1 arc sec |
±1.5 arc sec |
±2.5 arc sec |
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橫滾\Roll |
±1.5 arc sec |
±1.5 arc sec |
±2.5 arc sec |
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偏擺\Yaw |
±1 arc sec |
±1.5 arc sec c |
±2.5 arc sec |
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直線度\Straightness |
±0.3 µm |
±0.5 µm |
±0.6 µm |
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平面度\Flatness |
±0.3 µm |
±0.5 µm |
±0.6 µm |
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平台重量\Stage Mass |
15 kg |
16 kg |
19 kg |
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最大水平負載\Load Horizontal Capacity |
35 kg |
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最大橫向負載\Load Side Capacity |
20 kg |
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解析度\Resolution1 |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
10 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
±10 nm |
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最大速度\Maximum Speed2 |
2000 mm/s |
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|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2 g- |
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持續推力\Continuous Force |
112.1 N |
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|
峰值推力\Peak Force |
651.5 N |
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|
工作氣壓\Operating Pressure5 |
5.5 bar (建議乾燥空氣，濾水濾油，粉塵過濾到0.5μm以下) |
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平台材質\Material |
鋁 |
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|
平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
LAB210-300 |
LAB210-400 |
LAB210-500 |
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有效行程\Travel |
300 mm |
400 mm |
500 mm |
|
定位精度\Accuracy |
±0.3μm |
±0.4 μm |
±0.5 μm |
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重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.2 μm |
±0.25 μm |
±0.3 μm |
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俯仰\Pitch |
±3 arc sec |
±4 arc sec |
±5 arc sec |
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橫滾\Roll |
±3 arc sec |
±4 arc sec |
±5 arc sec |
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偏擺\Yaw |
±3 arc sec |
±4 arc sec c |
±5 arc sec |
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直線度\Straightness |
±0.75 µm |
±1.5 µm |
±2 µm |
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平面度\Flatness |
±0.75 µm |
±1.5 µm |
±2 µm |
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平台重量\Stage Mass |
23 kg |
25 kg |
30 kg |
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最大水平負載\Load Horizontal Capacity |
35 kg |
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|
最大橫向負載\Load Side Capacity |
20 kg |
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|
解析度\Resolution1 |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
10 nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
±10 nm |
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|
最大速度\Maximum Speed2 |
2000 mm/s |
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|
最大加速度\Maximum Acceleration2 |
2 g |
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持續推力\Continuous Force |
112.1 N |
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|
峰值推力\Peak Force |
651.5 N |
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工作氣壓\Operating Pressure5 |
5.5 bar (建議乾燥空氣，濾水濾油，粉塵過濾到0.5μm以下) |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-ASH回饋，配置線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 氣缸供氣需配置氣動三點組，必須清潔、乾燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平台實際負載重量可調。
- 為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）埠。
備註：
- 單位：mm；
- 拖鏈未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm） |
回饋 |
電纜管理 |
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LAB210 |
-050 |
-AS -TTL010 -TTL005 |
-CMS1 |
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-100 |
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-200 |
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-300 |
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-400 |
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|
-500 |
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行程選項 |
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-050 |
50 mm 行程 |
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-100 |
100 mm 行程 |
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-200 |
200 mm 行程 |
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-300 |
300 mm 行程 |
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-400 |
400 mm 行程 |
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-500 |
500 mm 行程 |
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回饋選項 |
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-ASH |
高精度零膨脹光柵尺，VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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電纜管理選項 |
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-CMS1 |
單側托線板、單拖鏈 |
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-CMS2 |
雙側托線板、雙拖鏈 |
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