LPAR系列

分類： 旋轉平台 > 機械直驅旋轉平台

產品特點

．高精密360度連續旋轉直驅轉台
．結構緊湊，大中空低橫向高度，中空直徑可達250mm
．重負載高精度轉台
．可選數位量或類比量高精度圓光柵位置回饋
．無刷無齒槽伺服線性馬達直驅，轉速超過300rpm
．0.05弧秒最小步進（實驗室環境，配置線性放大器），±1.5弧秒重複性

產品咨詢

LPAR系列是大中空尺寸、高精度360度連續轉台，採用旋轉線性馬達直驅控制，具備非常優秀的動態性能和定位精度，相比常規蝸輪蝸杆轉台，它速度快，無齒輪間隙，有更好的定位精度和重複定位精度。LPAR系列轉台採用傑出的工業化設計，選用薄壁軸承，有利於減小轉動摩擦和節省空間。選用高精度圓光柵位置回饋，定位精度±3弧秒，重複性小於±1.5弧秒，最大水平負載可達30kg，機械性能非常突出。

LPAR系列採用大直徑圓形軸承設計，系統剛性強，重複性好，重負載使用條件小也不會損失性能。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，LPAR系列轉台的定位穩定性和最小步進量小於0.05弧秒。

LPAR系列轉台具備靈活的配置選項，客戶可以選擇類比量回饋或者數位量回饋，針對半導體客戶的應用要求，LPAR系列轉台可以提供了旋轉單元和氣管選項，有效地解決了360°連續旋轉繞線問題，也可加配限位限制行程。由於LPAR系列轉台具備大中空、橫向高度低、定位精度和重複性好、負載能力強的特點，它被廣泛使用在半導體檢測和封裝等場合。

LPAR 轉台定位穩定性和最小步進測試：

0.0000135°（0.05弧秒）最小步進測試（實驗室環境，配置線性放大器）

定位穩定性測試優於±0.000014°（±0.05弧秒）（實驗室環境，線性放大器）

0.000027°（0.1弧秒）最小步進測試（實驗室環境，配置線性放大器）

平台型號\Model		LPAR
轉台行程 \Travel Range		360°
中空直徑 \Aperture Diameter		250mm	400mm
轉角精度 \Accuracy①		±3 arc sec
最小步進 \Minimal Incremental Step①		0.05 arc sec
重複性 \Repeatability①		±1.5 arc sec
擺角\Tilt Error		10 arc sec
軸跳 \Axial Error Motion		5 μm
端跳 \Radial Error Motion		5 μm
平台重量\Stage Mass		30kg	50kg
最大負載\Max Load	軸向 \Axial	50 kg	70kg
	徑向 \Radial	20 kg	30 kg
最高空載速度 \ Maximum Speed②		150rpm （900°/s)
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours