CFTCA系列
分類： 線性位移平台 > 機械直驅線性位移平台
產品特點
．高動態性能
．交叉滾柱導軌
．結構緊湊，薄型結構，阿貝誤差小
．150mm*150mm和250mm*250mm行程可選
．解析度1nm，重複定位精度±150nm，定位精度±300nm
．定位穩定性3nm（配置線性驅動器，配備隔振實驗室環境）
CFTCA系列是奈米級定位精度的XY一體式精密定位平台，直線線性馬達驅動，採用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截至頻率可達100Hz以上。CFTCA系列採用傑出的工業化設計，外觀設計及幾何尺寸非常合理，CFTCA-150XY全行程平面度和直線度小於±2μm，安全中空尺寸可達40mm*40mm；CFTCA-250XY全行程平面度和直線度小於±4μm，安全中空尺寸可達50mm*50mm是光學測量檢測領域的關鍵部件。
CFTCA系列結構精緻緊湊，但是有較強的驅動能力，上軸最大速度1000mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，配備隔振實驗室環境下，CFTCA系列中空平台的定位穩定性3nm，最小步進量可以小於5nm，由於其中空特性，它主要應用在雙面測量檢測、生物樣片加工和觀測、薄膜和油墨厚度測量等需要奈米級定位精度和中空設計的工業領域與科研專案。
CFTCA系列平台定位穩定性和最小步進測試
5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）
<3nm定位穩定性（ASH回饋選項，配置線性放大器）
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平台型號\Model |
CFTCA-150XY |
CFTCA-250XY |
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有效行程\Travel |
150mm*150mm |
250mm*250mm |
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中空尺寸\Clear Aperture |
200mm*200mm |
310mm*310mm |
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最小安全中空尺寸\ Clear Aperture at Mechanical Travel LimitT |
40mm*40mm |
50mm*50mm |
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絕對定位精度\Accuracy |
±0.3 µm |
±0.8 µm |
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雙向重複定位精度\Bi-Repeatability |
±0.15 µm |
±0.4 µm |
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俯仰\Pitch |
15 arc sec |
20 arc sec |
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偏擺\Yaw |
10 arc sec |
15 arc sec |
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正交性\Orthogonality |
5 arc sec |
5 arc sec |
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直線度\Straightness |
±2 µm |
±4 µm |
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平面度\Flatness |
±2 µm |
±4 µm |
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平台重量\Stage Mass |
40kg |
70kg |
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最大負載\Load Capacity |
20 kg |
40 kg |
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解析度\Resolution 1 |
1 nm |
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最小步進量\Minimum Incremental step1 |
5nm |
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定位穩定性\In Position Stability 1 |
3nm |
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最大速度\Maximum Speed 2 |
1 m/s |
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最大加速度\Maximum Acceleration 2 |
1 g (Upper Axis, No Load) |
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持續推力\Continuous Force |
48.8N |
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峰值推力\Peak Force |
340.8N |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-AS回饋，配置線性放大器；
- 空載，需配置相應功率的放大器；
- 預設測試點位置為檯面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際負載和工作點位置有關；
- 其他行程可客製（例如：行程350mm*350mm）。
CFTCA-150XY
CFTCA-250XY
備註：
- 單位：mm；
- 最小中空安全尺寸未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
名稱 |
回饋 |
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CFTCA |
CFTCA-150XY CFTCA-250XY |
-AS -TTL005 -TTL010 -TTL020 |
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回饋選項
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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-TTL005 |
5nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL010 |
10nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL020 |
20nm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-TTL100 |
0.1μm解析度數位量TTL信號輸入 |
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-ASH |
高精度VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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