FAP系列
分類： 客製化運動系統
產品特點
‧ 3~6個軸串聯運動
‧ 所有軸非接觸式直驅形式提升產能
‧ 直線軸最小步進為5 nm，轉軸最小步進為0.05 arcsec
‧ 多種配置和選項靈活搭配
‧ 配置工業標準能量計的類比輸入介面
FAP系列平台由高精度ART130系列直線奈米運動平台與ART130-20G系列直驅擺台集合而成，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率最大可達100Hz以上。FAP系列多軸平台採用傑出的工業化設計，外觀精緻小巧，可以實現3~6個自由度的奈米級定位，針對複雜的多軸耦合或者封裝，可實現全方位的高精密位移和角度調整，為客戶應用提供完整的耦合對準解決方案，是光學元件量產和組裝的基礎。
隨著新型矽光子元件的對準公差越來越小，對高效率和高精度對準的需求越來越強，FAP系列直驅平台可以兼顧高效率和高精度。FAP系列平台能夠實現低至5 nm的最小步進，速度高達400 mm/s，配以功率計能量模擬量輸入控制與尋光演算法、合適的軸數、行程配置以及工裝夾具設計，可很好地滿足了下一代光子學封裝耦合對準的需求。
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平台型號\Model |
FAP-X25-Y25-Z25 |
FAP-X50-Y50-Z25 |
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行程 \Travels |
25mm*25mm*25mm |
50mm*50mm*25mm |
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絕對定位精度 \Accuracy1 |
±300nm |
±300nm |
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雙向重複性 \Bidirectional Repeatability1 |
±150nm |
±150nm |
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最小步進 \Minimum Incremental Motion1 |
5nm |
5nm |
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平台重量 \Load Capacity |
5.0 kg |
6.0 kg |
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最大負載\Load Capacity |
4.0 kg |
6.0 kg |
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最大速度 \Maximum Speed |
200mm/s |
400mm/s |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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平台型號\Model |
FAP-R |
FAP-P12 |
FAP-T12 |
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行程 \Travels |
360°/20°/XXX° |
12° |
12° |
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絕對定位精度 \Accuracy1 |
±2arcsec |
±10arcsec |
±18arcsec |
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雙向重複性 \Bidirectional Repeatability1 |
±1arcsec |
±2arcsec |
±4arcsec |
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最小步進 \Minimum Incremental Motion1 |
0.1 arcsec |
0.1arcsec |
0.2arcsec |
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平台重量 \Load Capacity |
7.5 kg3 |
8.0 kg 4 |
9.0kg5 |
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最大軸向負載\Load Capacity |
2.0 kg |
1.5 kg |
1.5kg |
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最大速度 \Maximum Speed |
150°/s |
150°/s |
150°/s |
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平台材質\Material |
鋁 |
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平均無故障時間\MTBF |
27,000 Hours |
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備註：
- 適配-AS回饋;
- 預設測試點位置為檯面上方20mm處。
- 預設帶-X50-Y50-Z25選項
- 預設帶-X50-Y50-Z25、-R選項
- 預設帶-X50-Y50-Z25、-P、-T選項
- 需配置線性放大器
備註：
- 單位：mm；
- 電纜接頭未顯示；
- 完整3D圖紙可官網下載。
產品配置選項
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產品系列 |
行程（mm 或 °） |
回饋 |
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FAP |
-X25 |
-AS |
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-X50 |
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-Y25 |
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-Y50 |
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-Z25 |
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-R360 |
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-R20 |
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-RXXX |
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-P12 |
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-T12 |
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行程選項 |
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-X25 |
X軸25 mm 行程 |
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-X50 |
X軸50 mm 行程 |
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-Y25 |
Y軸25 mm 行程 |
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-Y50 |
Y軸50 mm 行程 |
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-Z25 |
Z軸25 mm 行程 |
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-R360 |
R軸360° 行程 |
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-R20 |
R軸20° 行程 |
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-RXXX |
R軸 客製行程，XXX為客戶指定 |
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-P12 |
P軸12° 行程 |
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-T12 |
T軸12° 行程 |
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回饋選項 |
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-AS |
VPP 1伏正弦模擬量輸入 |
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