MicroL-Z系列

分類： 客製化運動系統

產品特點

‧ MicroL-Z 是XYZ一體式設計直驅平台
‧ 採用直線線性馬達直接驅動，無滾珠螺桿間隙
‧ XY軸可以完成快速掃描和穩定，Z軸具有較好的動態聚焦能力
‧ 3軸一體設計，薄型結構，阿貝誤差小
‧ 採用大中空設計，最大中空尺寸達到150mm*100mm
‧ XY行程範圍115mm*75mm，Z軸行程1.5mm
‧ 重複定位精度±0.5μm，定位精度±1.5μm
‧ XYZ可作為3軸整體使用，也可以單獨分離Z軸

產品咨詢

MicroL-Z 亞微米級定位精度的XYZ一體式精密定位平台，採用三軸一體式結構，可以根據客戶要求分離成大中空的XY軸和單獨的Z軸。MicroL-Z利用直線線性馬達直驅控制，XY軸採用直線線性馬達驅動，無滾珠螺桿傳動環節，因此有較好的動態性能，可以完成快速掃描和穩定。Z軸具有良好的動態聚焦能力，可以在150ms內完成1μm步進，穩定到±150nm。

MicroL-Z系列三軸平台採用大中空設計，最大中空尺寸達到150mm*100mm，適用於生物組織結構觀測和膜厚測量等應用，XY軸完成“弓”字型折返掃描的同時，Z軸還可以根據應用需求完成調焦運動，保證精准的捕捉掃描圖像。在某些相機景深較短的應用中，都能快速協同步進穩定和快速聚焦，可以大大提高效率和成像品質。

軸號	X	Y	Z
有效行程\Travel	115mm	75mm	1.5mm
定位精度\Accuracy	±1.5 μm	±1.5 μm	±1 μm
重複定位精度\Bi-Repeatability	±0.5 μm	±0.5 μm	±0.5 μm
俯仰\Pitch	±20 arc sec	±20 arc sec	±20 arc sec
偏擺\Yaw	±20 arc sec	±20 arc sec	±20 arc sec
正交性\Orthogonality	15 arc sec		NA
最大速度\Maximum Speed1	200 mm/s	200 mm/s	30 mm/s
最大加速度\Maximum Acceleration1	0.5 g	0.5 g	0.3 g
持續推力\Continuous Force	21 N	21 N	21 N
峰值推力\Peak Force	147 N	147 N	147 N
最大負載\Load Capacity	3 kg
平台重量\Stage Mass(No Motor)	5kg
最小步進量\Minimum Incrementa2l step	100 nm
平台材質\Material	鋁
平均無故障時間\MTBF	27,000 Hours