ZR100系列

分類： 客製化運動系統

產品特點

．升降和旋轉一體平台
．Z軸採用雙線性馬達驅動，線性馬達出力更均衡．
．Z軸和Theta軸一體設計，側面高度低，阿貝誤差小
．Z軸20mm行程採用雙氣缸配重，Theta直驅360°
．Z軸解析度1nm，定位穩定性±20nm，重複定位精度±150nm，絕對定位精度±300nm
．Theta軸定位穩定性和最小步進0.1弧秒（實驗室環境做好隔振，線性驅動器）
．Theta軸採用下沉隱藏式設計，中空直徑32mm
．Z軸和Theta軸都是直驅方案，具備較好的動態性能

產品咨詢

ZR100是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平台，Z軸利用雙直線線性馬達驅動，採用雙氣缸配重，可以根據負載重量靈活調整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的性能和定位精度，空載截止頻率最大可達100Hz以上，具備很好的速度穩定性。Theta軸採用旋轉直驅線性馬達，配備圓形導軌和光柵，兼具高轉速和高精度。此外，Theta軸採用下沉隱藏式設計，使得ZR100整體高度較低，工作點的下降有利於保證實際應用中的精度指標。

ZR100是一款兼具點到點的靜態定位精度，同時具備非常突出的動態精度，可以適應對動態跟隨誤差要求嚴格的生物檢測或者晶圓檢測掃描應用。Theta軸採用32mm中空設計，可以用於白光共感測器通過中空進行雙面檢測應用，Z軸可以根據感測器聚焦高度即時高速調整，全方位解決客戶的運動控制難題。

ZR100平台動態性能測試

5nm最小步進（ASH回饋選項，配置線性放大器）

0.000027°（0.1弧秒）最小步進測試（實驗室環境，配置線性放大器）

軸名稱		Z	T
有效行程\Travel		20mm	≤360°（可客製）
定位精度\Accuracy		±0.3 μm	±2 arcsec
重複定位精度\Bi-Repeatability		±0.15 μm	±1 arcsec
俯仰\Pitch		20 arc sec	NA
偏擺\Yaw		10 arc sec	NA
直線度\Straightness		±1.5 μm	NA
平面度\Flatness		±1.5 μm	NA
最大速度\Maximum Speed1		100 mm/s	400rpm（2400°/s）
最大加速度\Maximum Acceleration1		0.7 g	2400°/s/s
持續推力\Continuous Force		19 N	3 NM
峰值推力\Continuous Force		133 N	10 NM
最大負載\Load Capacity		5 kg
平台重量\Stage Mass(No Motor)		6.5 kg
解析度\Resolution2		1 nm
最小步進量\Minimum Incremental step2	Z	20 nm
	T	0.5 arc sec
平台材質\Material		鋁
平均無故障時間\MTBF		27,000 Hours